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高真空蝶阀
高真空蝶阀是通过电磁换向阀改变气路方向，控制执行气缸驱动蝶阀作启闭运动。GIQ系列高真空蝶阀适用于高真空系统中用于接通或切断真空管路中的气流功能。适用介质为纯净空气和非腐蚀性气体。气动高真空蝶阀是用压缩空气为动力。通过气动装置改变气路方向，执行气缸推动蝶阀作启闭运动。气动高真空蝶阀可选配反馈信号装置及电气阀门定位器。
按照介质压力真空阀门可分为
低真空阀门：真空度范围为低真空105到10-2Pa（760~10托）
高真空阀门：真空度范围为高真空105到10~10-4Pa（760~10-6托）
超高真空阀门：真空度范围为超高真空10到10-7Pa（760~10-99
高真空蝶阀执行标准
1． 设计、制造按照就JB/T4079-1991标准执行；
2． 检验与试验按照JB/T6446-1992标准执行；
3． 端法兰尺寸符合JB919、GB/T6070标准执行。
高真空蝶阀主要零件材料
阀体、阀盖、阀杆：碳钢或不锈钢
密封圈：丁腈橡胶、氟橡胶。
高真空蝶阀主要技术性能
| 型 号 | GIQ-40 | GIQ-50 | GIQ-63 | GIQ-80 | GIQ-100 | GIQ-150 | GIQ-200 | GIQ-250 | GIQ-300 | GIQ-400 | GIQ-500 | GIQ-600 | GIQ-800 | |
| 公称通径(DN) | 40 | 50 | 63 | 80 | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 | 400 | 500 | 600 | 800 | |
| 适用范围(Pa) | 1.02×105 -6.7×10-4 | |||||||||||||
| 介质温度(℃) | 丁腈橡胶 -25℃～ 80℃；氟橡胶 -30℃～150℃ | |||||||||||||
| 漏气率(Pa.L/S) | ≤6.7×10-4 | |||||||||||||
| 电磁换向阀 | 电源(V/Hz) | 220/50 | ||||||||||||
| 功率(W) | 10 | |||||||||||||
| 电源压力(MPa) | 0.4～0.6 | |||||||||||||
| 法兰标准 | JB919 、GB6070 | |||||||||||||
| 安装位置 | 任意 | |||||||||||||
| 流导(分子流)(L/S) | 50 | 102 | 156 | 300 | 530 | 1328 | 2550 | 4180 | 7130 | 11000 | 17400 | 27400 | 45000 | |
高真空蝶阀主要零件材料
阀体、蝶板：碳素钢(镀镍)、不锈钢
构件：13Cr、不锈钢
蝶板密封圈：丁腈橡胶、氟橡胶
填 料：丁腈橡胶
