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    SQ™超高温晶振片 SuperQuartz™超级晶振片 SQ™超级石英晶振片

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    所属系列:半导体加工设备耗材-镀膜设备耗材-晶振片

    SuperQuartz™超级晶振片 | SQ™超级石英晶振片 | SQ™超高温晶振片

    工作温度超过100°C的过程中标准石英晶振片会产生非常多的噪声,阻碍了精确而稳定的薄膜厚度测量。为了解决这个问题,我们公司用先进技术制造了SuperQuartz(SQ)™超级石英晶振片,SQ晶振片可高效地工作在500°C以上的温度,完美地应用于高热过程,如ALD, CVD, OVPD和高温PVD等。
    SQ超级石英晶振片上可拥有金、铝或铂电极,SQ™石英晶振片的工作温度可达500°C或高于500°C,频率:5和6MHz,直径14mm。
     
    应用:
    ● 原子层沉积 (ALD)
    ● 化学气相沉积 (CVD)
    ● 分子束外延 (MBE)
    ● CIGS (薄膜太阳电池)
    ● OLED
    ● 多层光学薄膜沉积

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