网站首页

|EN

当前位置: 首页 » 耗材馆 » 半导体加工设备耗材 » 炉类设备耗材 »扩散炉炉体
    包邮 关注:338

    扩散炉炉体

    应用于半导体行业:

    半导体加工设备耗材-炉类设备耗材

    发货期限:

    15天

    库       存:

    1

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    1.00
    交易保障 担保交易 网银支付

    客服电话:4001027270

    品牌:

    型号:

    所属系列:半导体加工设备耗材-炉类设备耗材

    1)炉丝:加热丝采用英国KANTHAL,A-1牌号,Ф8mm炉丝,可多年长期工作在1290℃的高温下,加热炉丝采用三段——九段控温结构,加热缠绕等特殊技术和模具,确保了绕制炉丝时炉丝直径的均匀度。

    2)绝缘子:绝缘子的功能是,一方面要保证炉丝匝间间距的均匀性,因为它直接影响恒温区参数。另一方面炉丝需要靠绝缘子支撑,以保证高温使用情况下不下塌。为了保证在有限长度的炉体上获得更长的恒温区,采用多种间距的绝缘子(理论依据:单段加热炉体温度在炉体长度上呈正态分布,多段加热炉体内温度可以使用迭加原理计算)。绝缘子还利用拉条技术用多条微型炉丝来支撑绝缘子防止炉丝变形及下塌,具体分布设计几条要看炉体内径大小设计。

    3)保温材料:保温材料的材质和保温材料的包装工艺是炉体的又一个极其重要的关键技术,根据炉体的具体使用要求来进行设计和计算。选择美国摩根公司含锆塞拉纤维针刺毯,这种保温材料纤维长,纤维直径小,容重合适,气孔率高,主要成分为AL2O3,杂质少,保温隔热性能优越。在包装工艺上,严格按照“无缝”包装的要求,通过工装来实现包装松紧、稀密程度,最终保证炉体外壳温度不高于100度。膨胀变形在高温1300度以内变形正负0.2mm,控制温度精度:正负0.5度、单点控制精度正负0.5度。

    如果车间设备过多,建议用户使用水冷炉体,可以使炉体外表皮温度降到常温要求。

    4)外壳:选用304不锈钢磨砂板。外壳上装有电极引线板和热偶座。一个是超温保护热偶座。另外还有标注炉体参数的名牌

    5)把口环:把口环的功能有二:一是保温隔热,二是承载石英管。因此要求它不但具有保温隔热性能好,而且要有一定的机械强度。本项目采用轻质陶瓷纤维材料制作,避免裂缝和卷曲。真空技术制作。

    6)挡风管:挡风管是安装在炉体和排毒箱之间的过度连接,材质与把口环相同。

    7)保质期一年,具体使用寿命24小时/1000度以内4年左右。

    以上描述的是加热体的基本概述及简单数据,具体数据还要根据客户的要求和现有的炉体尺寸定做。

    咨询

    购买之前,如有问题,请向我们咨询

    提问:
     

    应用于半导体行业的相关同类产品:

    服务热线

    4001027270

    功能和特性

    价格和优惠

    微信公众号