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    德Diener等离子清洗机Tetra-30-LF型

    应用于半导体行业:

    真空等离子清洗机

    运费说明:

    包邮

    库       存:

    1

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:

    型号:

    所属系列:真空等离子清洗机


    etra-30-LF型 等离子清洗/刻蚀机---全自动控制型,适合清洁,蚀刻,活化
    30公升小型等离子机TETRA-30-LF,全自动控制,主要用于清洁,蚀刻,活化
     
    技术资料:
    外型尺寸: W 600 mm, H 800 mm, D 650 mm
    反应室尺寸: W 305 mm, H 300 mm, L 370 mm (可选:L 625mm)
    反应室容积: 约 34 公升
    气体供应: 针阀控制型,双气体通道
    射频发生器: 40kHz/0-1000 W(可选: 13.56 MHz or 2.45 GHz)
    真空泵: Leybold, Type  D16B(16 m3/h) 
    托盤: 最多6件托盘(选项 : 旋转圆筒)
    控制方式: 全自动控制, 计时器控制制程时间
    选购/ 附件 配件导购 ]   下列为可搭配的等离子机配件:
    1.   13.56 MHz - 射频发生器
    以 DIN EN 55011为准,我们的13.56 MHz 射频发生其为石英稳定型。手动和自动阻抗匹配。主要应用领域为活化,清洁,蚀刻,半导体(前端),半导体(后端),等离子体聚合。
     2.   40kHz - 射频发器                                                                                  
    自动阻抗匹配,双功率执行器。主要应用领域为活化,清洁,蚀刻,半导体(后端),等离子体聚合。
    3.    2.45 GHz - 射频发生器 (微波
    0-300瓦功率,PC接口。主要应用领域为活化,清洁,半导体(前端),半导体(后端),等离子体聚合。
    4.   2/2 液体配量阀
    可实现液体单体定量配给。
     5.   半自动控制系统
    祥见:等离子机/控制系统/半自动控制系统
    6.      全自动控制系统
    祥见:等离子机/控制系统/全自动控制系统
    7.      电脑控制系统
    祥见:等离子机/控制系统/电脑控制系统
    8.   PCCE-控制系统
    采用Windows CE 触摸屏。 祥见:等离子机/控制系统/PCCE控制系统
     9.   活性炭过滤器
    容易拆换         
    10.      真空抽气入口过滤器
    保护真空泵被周围物件,涂料,和污染损伤
    11.           11.   自动门
    制程中自动锁闭,安全可靠
    12.      条码阅读器 
                        
      13.   加热舱
    带调节器,可加热至 80°C 。适用于特定制程条件并提高蚀刻率。
    14.   偏压测量系统
    kHz- und MHz-射频发生器自带偏压测量系统。
     15.  喷水式饮水口瓶
    属于聚合附件,用于将液体单体灌注于真空舱内。
     16.  蝴蝶阀
                       
    17.   不同语种文献
    所有等离子机系统不自带不属机械指令89/392/EWG的非英语及德语语言,若有特殊需求需单独定购。
    18.   旋转圆筒
    如用于固体工件处理。
                         
    19   测压仪
    以Pirani传感器 或 Baratron 显示器 显示真空舱内压。
    20.   气瓶减压阀
    联接于气瓶-200巴。不同气体需用不同气瓶减压阀。一种适用于H2, O2, CF4, C4F8 ,一种适用于NH3。
                              
    21.   连续运作系统
    使低压等离子系统在工作线上得以实现自动化。
    22.   标准备件或全氟聚醚(PFPE)
    标准备件包括1个张力环,1个密封衬垫,1个不锈钢波管(真空管) , 1个窗玻璃,1个门密封衬垫,10个等离子机系统精密安全环 ,  1真空泵矿物油。(全氟聚醚(PFPE)标准备件含1升PFPE真空泵油)
                                  
    23.   标签打印机
    等离子体处理后自动打印标签
                                 

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