网站首页

|EN

当前位置: 首页 » 设备馆 » 半导体加工设备 » 涂胶设备 » 半自动匀胶机 »EZ6小巧型匀胶机
    包邮 关注:368

    EZ6小巧型匀胶机

    产品品牌

    Schwan technology

    规格型号:

    Easy Coater6

    发货期限:

    3天

    库       存:

    100

    产       地:

    中国-江苏省

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:Schwan technology

    型号:Easy Coater6

    所属系列:半导体加工设备-涂胶设备-半自动匀胶机

     产品性能介绍:

     

    EasyCoater 6 匀胶机被设计为结构紧凑、简单易用,程控操作,性能稳定,具有优异的性价比。

     

    结构紧凑:EZ6外型尺寸为:260(W)*358(D)*258(H),特别适合放于手套箱内操作。最大可旋涂6寸圆晶的底物。

     

    简单易用彩色触屏控制,界面简单易用,且自带帮助功能,提供使用向导,对初次使用者非常方便。

     

    程控操作:提供多步编程旋涂工艺运行,最多可存贮10步10组程序,还可升级自动点胶功能。

     

    性能稳定:工业级直流马达和高级PLC控制,转轴旋转稳定,重复性好;真空系统设计独特,可靠性好。

     

    产品参数说明:

     

    HDPE高分子耐腐蚀、易清洁内腔,带排废功能 

    SUS耐腐蚀不锈钢机身,经久耐用

    耐溶剂性PC透明盖子,提供动态和静态点胶方式

    4.3寸全彩触屏人机界面,提供触屏笔操作

    100W直流无刷电机,高级PLC控制

    内腔直径180mm,可处理碎片(小于1cm)至6英寸圆晶底物

    转速可控范围:100-10000RPM,转速分辨率:1RPM

    加速度可控范围:100-30000RPM/S

    可进行多步程序运行,最多可存贮10组10步程序

    带一只自动点胶端口,可升级自动点胶功能

    宽输入电压适用:AC100-230V输入

    带真空和盖子开关互锁功能,确保操作安全

    可选择设置开机密码功能,提高设备操作安全性

     

    产品附件选择:

     

    标配四只真空载物盘(3/16”,1/2”,1”&2.25”),适于碎片至6寸圆晶的处理

    定制载物盘可选,根据基片尺寸和要求可提供嵌入式或档杆式载物盘设计加工 

    用于薄膜基片可提供定制微孔真空吸附载物盘 

    无油真空泵(抽气量15L/min以上)或真空发生器可选

    4-6寸手持式对中装置可选

    盖子上点胶针筒支架手动点胶可选

    瓶口分液器手动点胶可选

    蠕动泵/点胶机等自动点胶装置可选配


    咨询

    购买之前,如有问题,请向我们咨询

    提问:
     

    请问你们这个加工精度多高??膜层能做到多厚?报价含不含泵吗?

    balk  2017-08-08

     膜厚均匀性标称小于3%,但是我们很多客户实际的均匀性能做到1%。膜层的厚度是根据胶体粘度、匀胶参数有关,最厚的有100um—200um的,像SU8胶。报价是含泵的

    2017-08-15

    应用于半导体行业的相关同类产品:

    服务热线

    4001027270

    功能和特性

    价格和优惠

    微信公众号