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    射频电源、射频自动匹配器

    应用于半导体行业:

    半导体器件-仪器仪表

    产品品牌

    K-mate

    规格型号:

    VERG-1000/VENA-1000

    发货期限:

    5个工作日天

    库       存:

    20

    产       地:

    中国-广东省

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:K-mate

    型号:VERG-1000/VENA-1000

    所属系列:半导体器件-仪器仪表

     针对低功率、载行应用,VERG® 系列射频电源小巧、轻便,拥有空冷式设计。高质量的组件和较少的零件数量使可靠性和产品生命周期均实现最优化,从而使您的投资和制程生产力得到最大化的利用。一个直观、快捷的操作菜单(可在该组件的多功能前面板上切换,并显示在一个128 x 64像素的液晶显示屏上)带来了无比的便利性——提高了操作人员的效率,并使培训成本最小化。

    VENA系列自动匹配器用于真空镀膜、等离子刻蚀、等离子清洗、物理气象沉积,化学气象沉积,磁控溅射,以及太阳能制造设备PECVD等设备当中,主要功能是实现全自动匹配,解决了现在国内真空镀膜设备中的一个技术空缺;具有自动,快速,可靠,高效,准确,节省人力和时间等特点。可选的射频系统检测模块可实时检测出系统的正反功率、驻波比、射频信号峰值电压、电流、直流偏置电压等,从而使您能够发现并显著降低制程变化性。

    优势

    ●性能安全可靠,长时间工作稳定
    ●实时反射功率测量与控制
    ●优化设计、安装、使用与维修十分简便
    ●传输效率高,运行噪音小
    ●屏蔽效果好
    ●可外接匹配控制盒,与其他射频功率发生器配合使用

    特点

    ●加强了镀膜与刻蚀工艺的控制
    ●优化的匹配算法加速匹配时间
    ●最大限度地减少驻波比与反射功率
    ●严格的可靠性测试


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