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    CXS系列旋转冲洗甩干机

    应用于半导体行业:

    半导体清洗设备-甩干机-多片甩干机

    库       存:

    10

    产       地:

    全国

    数       量:

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    主营:半导体专用设备研究开发、电子元件设备研究开发、光电器件设备研...

    地区:中国-北京市

    地址:北京经济技术开发区泰河三街1号

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    品牌:

    型号:

    所属系列:半导体清洗设备-甩干机-多片甩干机

    CXS系列旋转冲洗甩干机主要用于硅圆片、光刻版等类似材料的高洁净度冲洗及干燥工艺,适用于2-12英寸晶圆,LXS系列旋转冲洗甩干机主要用于材料加工、太阳能电池片、分立器件等行业、单台产量大、效率高。

    采用高性能可编程控制器实现逻辑控制

    采用彩色液晶汉显监控,可存储百种用户工艺菜单

    结构采用洁净化处理技术

    去离子水电阻率监控

    防静电控制

    氮气温度控制

    腔体温度控制

    转轴氮气密封

    无刷电机驱动

    旋转载体定位

    故障诊断,显示及报警

    CXS系列型号说明

    CXS系列型号特征与设备性能、功能的对应关系


        




     



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