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    等离子刻蚀机、去胶机、清洗机

    应用于半导体行业:

    真空等离子清洗机

    产品品牌

    戈德尔guarder

    库       存:

    100

    产       地:

    中国-山东省

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    6666.00
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:戈德尔guarder

    型号:

    所属系列:真空等离子清洗机

     

    详细介绍

     

     

    >> 等离子清洗机产品特点

      台式小型机,PLC人机自动控制,内部无电极,用于低污染及高洁净材料表面清洗、刻蚀、活化等工艺。

    >> 等离子清洗机技术参数    

     ◆ 设备外形尺寸

        630(W)×650(D)×420(H)mm

     ◆ 仓体结构(合金铝,约30升)  

        290(W)×290(H)×360(D)mm

     ◆ 放电电极(内置电容耦合电极)

        180(W) ×210(D) mm

     ◆ 等离子发生器(韩国KM)

        频率13.56MHZ,功率0-300W连续调节,自动阻抗匹配

        可选择40KHZ中频等离子发生器(0-300W)

     ◆ 控制系统

        触摸屏(7寸)+PLC单步法全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件,  并具有手动、自动两种模式

     ◆ 真空系统

        德国莱宝(Leybold)真空泵   D16C (20m3/h)

        SMC截止阀、充气阀,德国(Inficon)压力传感器

     ◆ 压力控制

        PID闭环自动稳压控制

     ◆ 气路系统

        2路工艺气体配置,电子质量流量计、针阀,美国飞托克(FITOK)气体管路

    >> 相关应用   

     

      光刻胶清洗 

      表面改性

     

     

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