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    中科院KW-4A 匀胶机

    发货期限:

    1天天

    运费说明:

    包邮

    库       存:

    2788

    产       地:

    中国-山东省

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    5700.00
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-涂胶设备-半自动匀胶机

     优质产品:KW-4A匀胶机,中科院微电子所

    一、概述

    KW型匀胶机适用于半导体工艺,制版及表面涂覆等工艺。

    匀胶机稳定的转速和快速的启动,可以保证胶厚度的一致性和均匀性,为此,该机采取了如下措施:

    (一)          定子和转子分开供电。定子用稳压电源供励磁电流,转子用开关电源调速,它比用可控硅调速优越得多,转速在1000-8000转/分范围内非常稳定。

    (二)          匀胶机有两个转速。在启动之后,先以低速运转,使胶摊开,然后自动变到高速运转。两转速及相应的时间分别可调。

    (三)          本匀胶机测速采用光电的方法,在光电测速盘的边上有三个缺口,光电盘下面装有光电开关。当光电盘缺口转到光电开关上方时,光电开关的接收器没有信号,当光电盘的反射板(缺口以外的其余部分)转到光电开关上面时,光电接收器便接收到信号产生一个脉冲,光电盘旋转一周,光电接受器便接收到三次信号,因而产生三个脉冲。闸门由秒脉冲电路产生,周期为2秒。当马达旋转时,如果计时器在2秒内计得的数是n,则每秒钟应该转了n/(2×3)=n/6转,每分钟旋转(n/6)×60=10n转。故计数器就是每分钟转速,只不过差一个数量级。

         匀胶机的定时功能由时基电路556来完成,把556按单稳形式连接,改变RC常数,就可以改变两个匀胶时间。在安装结构上,采取了减震措施,在运转时噪音很低。

    二、   主要性能

    1.            特点是双转速匀胶机,两档转速及其匀胶时间分别连续调节,在启动后先低速运转,经几秒钟后自动转换到高速运转。

       Ⅰ档转速:500-2000转/分

       Ⅰ速匀胶时间:2-18秒

       Ⅱ档转速:1500-8000转/分

       Ⅱ速匀胶时间:3-60秒

    2.  LED数字显示,转速稳定度±1%,胶的均匀性±3%。

    3. 体积小,重量轻,操作方便。

    4. 电机功率:40W。

    5. 适用于φ10至φ100mm硅片及其它材料等匀胶。

    三、控制件功能说明

    1.电源开关:控制220伏电源的通断。

    2.转速调节钮:调节匀胶转速。

    3.控制:在启动后,定时时间未到,需立即停止而又不能停止吸片,此时只要抬起该键便可停止匀胶。

    4.吸片:按下时吸住片托上的片子。为避免操作上的错误,“吸片”键具有联锁功能,不吸片则电机不转。“吸片”键抬起后匀胶也就停止。

    5.启动:启动电机。必须在“控制”键和“吸片”键都按下时才能启动运转,否则虽按了“启动”键仍不能运转。

    6.匀胶时间:调节匀胶时间长短,时间分别控制在1-18秒和3秒-1分钟,其所指刻度与实际时间相近。

    7.电源输入(后):插入220V电源线。

    8.保险管座(后):安装φ5×20-1A保险管。

    9.吸片抽气嘴(后):连接到抽气泵。气泵的抽速1升/秒。

    四、操作步骤

    1.选择合适的片托,(略小于样片尺寸)将缺口对准螺钉。片托安装时一定要到底。

    2.开启电源,按下“控制键”。

    3.调节合适的匀胶时间和转速。转速Ⅰ为低速,转速Ⅱ为高速。

    4.放片,要注意放正。

    5.按下“吸片”键开始抽气。注意在按“吸片”键之前,转速电位器上的指示灯不应亮。

    6.按“启动键”,马达先以低速旋转,数字稳定后为实际转速,如:1.50即为1500转/分。

    7.滴胶,动作要快些,要在低转速时间内滴胶完毕,然后匀胶机变为高速匀胶。若不知道匀胶机是在低速还是在高速运转,可以从电位器上面的指示灯来判断,红或黄色为低速,绿色为高速。

    8.电机停转后,抬起“吸片”键,取下片子。

    9.匀胶时间、转速若不合适可随时调节。

    10.继续匀胶时重复4-8步。

    11.匀胶结束后抬起“吸片”键、“控制”键,关断电源。

    五、注意事项

    1.每次开机前要注意将“控制”键,“吸片”键抬起,开启电源后分别按下各键操作,以避免未启动时电机即转动。

    2.不同尺寸的片子选用不同尺寸的片托,厚度在1.5mm以下的片子选用带吸气槽的片托,厚度大于1.5mm的片子,选用“O”型圈的片托。

    3.所甩样片的尺寸要大于片托有效尺寸2-3mm左右,如果用大片托甩小的样片就会产生漏气,同时造成胶被吸入抽气室。

    4.如果不慎胶被吸入了抽气室,要立即进行清洗,否则片托、光电盘、电机轴会粘在一起,造成电机转不动,拆卸亦很困难。

    六、清洗

    属下列情况之一时,需要对抽气室进行清洗:

    1.          正常使用三个月的;

    2.          胶被吸入抽气室的;

    3.          电机转速不稳定或被卡住转不动的。

    清洗的办法是依次取下片托,松开光电盘上的紧固顶丝,(参看抽气室结构图)取下光电盘、上密封环、抽气室、下密封环、弹簧,用脱脂棉蘸酒精或丙酮擦洗干净,再依次装上弹簧、下密封环、抽气室、上密封环、光电盘,旋紧紧固顶丝。在安装过程中要注意几点:

    1.弹簧片不要卡在电机轴的台阶上,否则,下密封环压不下去,抽气室放不下去,同时,电机轴亦会被卡住。

    2.弹簧片的作用是将下密封环弹起,使其上表面贴紧抽气室的下表面。

    3.下密封环的上表面和内表面,上密封环的下表面和内表面均涂一点真空脂或黄油,一是起润滑作用,二是起密封作用。

    4.在安装上密封环可将其先套在光电盘上,套进1mm,不要垂直往轴上安装,这样密封环会掉下去。可将匀胶机某一侧面向下使电机轴成水平方向,然后将套上密封环的光电盘插在电机轴上,这样可保证密封环的下表面紧贴抽气室的上表面。

    有时根据情况可只拆下光电盘和上密封环进行清洗.

     

     

    章丘市冠牌电子设备厂   

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    您好, 我在半导体所这边。想询问此匀胶机性能稳定之类,以及报价单。谢谢。 汪炼成 18008497660.

    liancheng  2017-08-23

    报价含泵么

    liancheng  2017-08-23

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