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    酸碱刻蚀机

    产品品牌

    hlkn

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    50

    产       地:

    全国

    数       量:

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    主营:半导体清洗设备、太阳能光伏设备、光电子器件设备、液晶湿制程设...

    地区:中国

    地址:江苏苏州工业园区启月街

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     3.整机构造

    l 骨架:优质不锈钢骨架,外包3mmPP板防腐焊接而成;

    l 外壳:德国进口10mm瓷白PP板热焊接而成;

    l 防护门:正面操作侧采用透明上下推拉门;

    l 管路:管路位于机台下后部,以节省空间,采用英制接口;

    l 药液回收区位于设备左后下部;

    l 设备2#与3#处有活动推拉挡板;

    l 排风:根据流体学原理设计位于机台后上部,并配有导流和风量调节装置;

    l 工作照明:机台上方配照明(与工作区隔离);

    l DI/N2 GUN:可伸缩的N2 Gun和DI水枪各把,置于右侧;

    l 台面板为德国10mm PP板(带有漏液孔);

    l 人机界面:Touch Screen彩色界面;

    l 支脚:有滑轮装置和固定装置,可调整高度和锁定;

    4.控制系統

    l PLC可程式控制器(欧姆龙)+Touch Screen彩色人机界面操作。

    l 制程参数皆采用可设定、修改、记忆制程模式;

    l 操作模式可分为自动/手动/编辑/维修。

    l 配有独立配电箱,电路区进行功能分块,强电、弱电块,以便于维护;

    l 具Password功能以避免操作人员误改参数:

    Password-1.启动及可进入自动模式內容。

    Password-2可进入手动模式。

    Password-3可进入编辑模式修改制程参数。

    5.安全保护

    l 设备采用耐腐蚀导线并通过PE管进行保护,防腐防水;

    l 设有防漏电断路保护装置;

    l 电控部分正压空体保护,防水防腐;

    l 设备有可靠的接地装置及紧急关机和报警系统;

    l 药液回收区配有独立抽风,和底部滑动滚轮,便于拿放回收桶;

    l EMO 装置紧急按钮开关;

    l 蜂鸣器声鸣提示工作完成,三色报警灯及蜂鸣声光故障报警;

    l 机台底部设有防漏盘及漏液感知;

    l 液位异常感知/安全液位保护;

     

    l 配有加熱保护;

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