华林科纳新型高效废气处理系统_废气处理_气体类辅助设备_半导体辅助设备_设备馆

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主要功能：本设备主要采用手动搬运方式，通过对扩散、外延等设备的石英管、碳化硅管腐蚀、漂洗等方式进行处理，从而达到一个用户要求的清洗效果。主体采用德国劳士领瓷白PP板，骨架采用不锈钢外包PP 防腐板；

1.1.1 设备名称：半自动石英管清洗机

1.1.2 设备型号：CSE-SC-N401

1.1.3 整机尺寸(参考)：4500mm*1500mm*2100mm；

1.1.4 被清洗炉管尺寸（Max）：

也可清洗其它可放入清洗槽中的石英器皿等被清洗物

1.1.5 设备形式:室内放置型;

1.1.6节拍：约1--12小时（节拍可调根据实际工艺时间而定）

1.1.7 操作形式：半自动

1.2 设备描述

l 此装置是一个半自动的处理设备。

l PROFACE 8.0英寸大型触摸屏显示 / 检测 / 操作

l 清洗工作过程由三菱 / 欧姆龙PLC控制。

1.3 设备特点

l 腐蚀漂洗能力强,性能稳定,安全可靠;

l 设备成本合理,自动化程度高,使用成本低;

l 技术先进,结构合理,适宜生产线上大批次操作;

l 结合华林科纳公司全体同仁之力,多年品质保障,使其各部分远远领先同类产品;

l 设备上层电器控制系统及抽风系统，中层工作区，下层为管道安装维修区，主体结构由清洗机主体、酸洗槽、水清洗槽、防漏盘、抽风系统、工件滚动系统、氮气鼓泡系统、支撑及旋转驱动机构、管路部分、电控部分。

l 本设备装有双防漏盘结构，并有防漏检测报警系统，在整台设备的底部装有接液盘。

l 设备配有在槽体下方配有倾斜式防漏层。

1.4工艺流程：

检查水、电、气正常→启动电源→人工上料→注酸→槽体底部氮气鼓泡→石英管转动（7转/min）→进入酸泡程序→自动排酸(到储酸箱)→槽体底部自动注水（同时气动碟阀关闭）→悬浮颗粒物经过溢流坝流出→排水碟阀打开（重颗粒杂质排出）→初级洁净水经过溢流坝溢出→清洗次数重复循环（人工控制）→下料。

酸洗和水洗在同一槽内完成

1#，2#可通过循环泵循环使用