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    PECVD

    应用于半导体行业:

    半导体加工设备-镀膜设备-PECVD

    库       存:

    1

    产       地:

    中国-北京市

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-镀膜设备-PECVD

     EPEE 550是一款面向LED领域的大产能PECVD设备,适用于LED芯片制造中的保护层、SWE掩膜层、CBL等工艺制程
    性能特点:
    • 支持高压工艺,更快的沉积速率;
    • 高功率清洗技术,更好的清洗效果;
    • 支持双频工艺,可控制膜层应力;
    • 加热器三区控温,控温能力更强;
    • 大产能高性价比
    • 大产能,更优的大尺寸晶片容量。

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    提问:
     

    请问设备能达到的最高温度多大?热电偶是哪种类型的?

    shangdangshengjie  2017-08-25

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