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    气体质量流量控制器

    应用于半导体行业:

    半导体器件-MFC

    库       存:

    1000000

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
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    主营:热式气体质量流量计、气体质量流量控制器(MFM、MFC)

    地区:中国-江苏省

    地址:苏州市吴中区郭巷街道西村路25号

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    品牌:

    型号:

    所属系列:半导体器件-MFC

     一、 产品概述

    采用关键矽微机械加工技术的MS流量传感器具有测量微小、小流量的优势的MEMS Microelectromechanical systems气体质量流量计和流量控制器,主要应用于轻工、化工、环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。

    该产品能替代浮子流量计、孔板流量计等流量计。其特点是可靠性高、重复性好,压损小,无可动部件,量程比宽,响应时间较快,测量精度高,无需要温度压力补偿。

     

     二技术参数(本产品按Q/320500HH009-2014进行生产、校验)

    2.1  测量介质:各种气体(乙炔气和混合气体除外)

    2.2   流量范围:   DN3   100-1000mL/min

                          DN4    250-2500mL/min

                          DN6     1000-10000mL/min

                          DN8    1500-15000mL/min  

               DN10   2500-25000mL/min             

                    注:(a)以上流量的测量介质为空气而言;

    (b)以上流量的标准状态20℃,101.325kPa

    2.3   流量测量准确度:±1.5%FS

    2.4   工作温度范围:0-55℃;

    2.5   工作压力范围:0.3MPa0.6MPa1.0MPa``

    2.6   供电电源:24VDC±10%

    2.7   输出信号:4-20mARS485通讯;

    2.8   环境温度:0-55℃;

    2.9   显示位数:瞬时流量为三位,累积流量10位。

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