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    隧道炉

    应用于半导体行业：

    半导体加工设备-炉类设备-气氛炉

    产品品牌

    赛尔微

    库       存：

    10

    产       地：

    全国

    数       量：

    减少 增加

    价       格：

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    品牌：赛尔微

    型号：

    所属系列：半导体加工设备-炉类设备-气氛炉

     链（带）式隧道炉主要应用于电真空、航空航天、电力电子、机械加工；可对不锈钢、无氧铜、金属化陶瓷件等不同零件进行，无氧化钎焊、退火、烧结及对薄膜、厚膜电路、混膜集成电路等在氢气、氮气或氢氮混合气体的保护下， 对工件进行焊接， 封装和烧结等。 

    ◆     本设备为气氛保护炉，保护性气氛 H2、Ar、N2等

    ◆     设备具有连续工作性，保证生产效率高

    ◆     炉体可靠密封，防止炉内气氛外泄，保证设备环境安全

    ◆     独特的气帘设计，确保炉外空气与炉内氢气隔绝，具备高度安全性

    ◆     对于带有炉门的氢气隧道炉，配有性能可靠的点火装置，确保炉门打开时及时点火形成火帘，阻止炉外空气进入炉内，保证炉子安全

    ◆     多温区控制炉温，方便调整工艺曲线。温度控制采用智能温控仪自动控制或电脑微控

    ◆     根据工艺的不同要求，工件传输速度可调

    ◆     根据用户特殊需要可配制加湿器

    ◆     根据用户不同需求提供各种规格的设备

    ◆     传动方式可选择形式：网带式、链式、底辊式、推板式

    ◆       加热方式可选择：内热式、外热式

    ◆     炉芯管可选择：背弓式、直通式

    ◆     最高温度：根据处理材料和工艺而定

    ◆     截面温度均匀性:±(3-5)℃(动态) 

    ◆     温区控制：根据客户需要多段加热，满足工艺曲线要求

    ◆     加热控制：温控仪自动控制或电脑微控

    ◆     可根据客户需要配置工件托架（推板等）自动返回系统，两端设有气幕和机械幕帘

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