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    RCA清洗机

    应用于半导体行业:

    半导体清洗设备-标准清洗-RCA清洗机

    发货期限:

    30天

    库       存:

    30

    产       地:

    中国-江苏省

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
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    邮件:Wangxx@semieqmt.com

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    主营:湿制程设备。半导体、光伏、LED、MEMS、蓝宝石等湿法腐蚀清洗设备...

    地区:中国-江苏省

    地址:中国江苏南通如皋城南街道新桃路90号

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    品牌:

    型号:

    所属系列:半导体清洗设备-标准清洗-RCA清洗机

     1.主体构造特点

    ●规范:本设备的设计、选购、制造、检验和测试均按照相关国家、半导体行业标准(SEMI-S2-93)执行,ISO9001质量管理体系进行规范和保证,但合同中或技术文件中另有规定的除外。外购配件执行相应的国家标准、行业标准、规范及企业标准;
    ●设备包括:设备主体、电气控制部分、化学工艺槽、纯水清洗槽等;并提供与厂务供电、供气、供水、排废水、排气系统配套的接口等。
    ●主体:设备为半敞开式,主体使用进口WPP15和10mm厚板材,结构设计充分考虑长期工作在酸腐蚀环境,坚固耐用,双层防漏,机台底盘采用德国产瓷白PP板,热焊接而成,可长期工作在酸碱腐蚀环境中;
    ●骨 架:钢骨架+PP德国劳施领板组合而成,防止外壳锈蚀。
    ●台面:高度为850mm;
    ●储物区:位于工作台面左侧,约280mm宽,储物区地板有漏液孔和底部支撑;
    ●安全门:前侧下开透明安全门,脚踏控制;
    ●工艺槽:模组化设计,腐蚀槽、纯水冲洗槽放置在一个统一的承漏底盘中。底盘采用满焊接工艺加工而成,杜绝机台的渗漏危险;
    ●管路系统:位于设备下部,所有工艺槽、管路、阀门部分均有清晰的标签注明;药液管路采用PFA管,纯水管路采用白色NPP喷淋管,化学腐蚀槽废液、冲洗废水通过专用管道排放;
    ●电气保护:电器控制、气路控制和工艺槽控制部份在机台顶部电控区,电气元件有充分的防护以免酸雾腐蚀以保障设备性能运行稳定可靠;所有可能与酸雾接触的电气及线路均经PFA防腐隔绝处理,电气柜CDA/N2充气保护其中的电器控制元件;
    ●排 风:后部排风和下沉式设计,风量可调节,对操作员有安全保护;
    ●送风:设备顶部有FFU百级净化送风装置,设备沿前侧板镶嵌入墙体,保证后上部送风;
    ●照明:工作区顶部配有双光日光灯照明;
    ●水汽枪:机台前部配备有PTFE纯水枪和PTFE氮气枪各1只置于右侧,方便操作员手工清洗槽体或工件;
    ●机台支脚:有滑轮装置及固定装置,并且有高低调整及锁定功能。
    ●安全保障:完善的报警和保护设计,排风压力、液位、排液均有硬件或软件互锁,直观的操作界面,清晰的信息提示,保障了生产、工艺控制和安全性三色警示灯置于机台上方明显处。

    2.安全保护
    ●设备采用耐腐蚀导线并采用氟套管进行保护,防腐防水;
    ●设有防漏电断路保护装置;
    ●电控部分正压空体保护,防水防腐;
    ●配有漏电流断路保护装置以及过温过载保护装置。
    ●设备有可靠的接地装置及紧急关机和报警系统;
    ●EMO紧急开关位于机台上方明显处。
    ●蜂鸣器声鸣提示工作完成,三色报警灯及蜂鸣声光故障报警;
    ●机台底部设有防漏盘及漏液感知;
    液位异常感知/安全液位保护;
    配有加熱保护,防干烧;


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