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    蒸发台EI-5Z

    产品品牌

    ULVAC

    库       存:

    10

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:ULVAC

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-镀膜设备-电子束蒸发

    一、基板
    材料:Si、Mo、Glass、GaN、GaAs等
    尺寸直径:2-8英寸圆片及各种形状的基板
    二、真空条件
    油旋片泵+低温泵U16P
    极限压强:小于3.0*10-6Pa
    排气速度:20分钟内达到3.0*10-6Pa
    三、成膜
    蒸发源:电子束式,10KW/16KW,坩埚型号20cc、40cc、110cc(可选),热阻式:备选。
    行星式:公转式,卫星式
    基板内:基板均匀性在5%以内
    四、加热方式
    红外灯加热,最高350℃
    五、操作模式
    GPCS-2700触摸屏控制,PC+PLC

    详情请咨询www.yjyco.cn

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