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变温真空腔探针系统主要用于为被测芯片提供一个低温或者高温的变温测量环境，以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中。
变温真空腔探针系统专为显微镜、成像和高空间分辨的光致发光等实验设计。低膨胀系数的材料结合内部隔振措施使样品振动和漂移水平低至纳米量级，紧凑设计提供短工作距离，满足高倍放大的短焦距显微物镜的要求，易于匹配各种显微镜和平移台。
变温真空腔探针系统标配高效传输管线，将液氦或液氮连续输送到恒温器的两级环形热交换器进行汽化，将固定在热交换器上的样品座冷却。变温真空腔探针系统恒温器重量轻，固定方便，可在任何方向工作，紧凑型结构便于进行反射和投射实验。可定制样品座尺寸、通光口大小、样品座到窗口的距离等。
