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    小型真空等离子清洗机TS-PL10

    应用于半导体行业:

    真空等离子清洗机

    库       存:

    99

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:

    型号:

    所属系列:真空等离子清洗机

     

    产品介绍

    小型真空等离子清洗机TS-PL10      等离子系列 Plasma Series
    等离子处理设备广泛应用于:
    等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面改性等场合。通过其处理,能够改善材料表面的润湿能力,使多种材料能够进行涂覆、镀等操作,增强粘合力、键合力,同时去除有机污染物、油污或油脂。
    产品特点:
    1.环保技术:等离子体作用过程是气- 固相干式反应 ,不消耗水资源、无需添加化学药剂,对环境无污染。 

    2.广适性:不分处理对象的基材类型,均可进行处理,如金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料都能很好地处理;

    3.温度低:接近常温,特别适于高分子材料,比电晕和火焰方法有较长保存时间和较高表面张力。

    4.功能强:仅涉及高分子材料浅表面(10 -1000A ),可在保持材料自身特性的同时,赋予其一种或多种新的功能; 

    5.低成本:装置简单,易操作维修,可连续运行,往往几瓶气体就可以代替数千公斤清洗液,因此清洗成本会大大低于湿法清洗。

    6.全过程可控工艺:所有参数可由PLC设置和数据记录,进行质量控制。

    7.处理物几何形状无限制:大或小,简单或复杂,部件或纺织品,均可处理。 

    技术参数:
    ★设备外形尺寸:660(W)×700(D)×560(H)mm            

    ★不锈钢真空仓体尺寸:

    200 × 200× 270(L) mm(约10升)

    ★低压(真空)等离子清洗机仓体结构:

      内置进口304不锈钢真空腔

    ★低压(真空)等离子清洗机射频发生器:

      频率40KHZ,功率0-600W连续调节,自动阻抗匹配

    ★低压(真空)等离子清洗机控制系统:

      PLC触摸屏全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件,性能稳定可靠,并具有手动、自动两种控制模式

    ★低压(真空)等离子清洗机真空系统:

     德国莱宝(Leybold)真空泵    

     进口气动真空角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管、高精度真空计、真空规管

    ★低压(真空)等离子清洗机充气系统:

    两种工艺气体配置(氩气、氧气),高精度电子质量流量计、美国世维洛克气体管路及阀件

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