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    JP系列镀膜机适用于企业批量化生产高致密度高结合力薄膜

    产品品牌

    北京北仪

    规格型号:

    JP系列镀膜机

    库       存:

    100

    产       地:

    中国-北京市

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    1.00
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    主营:真空获得、真空测量、真空应用三大类产品,从低真空到超高真空30...

    地区:中国-北京市

    地址:北京市大兴工业开发区高米店盛坊路仪器仪表基地

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    品牌:北京北仪

    型号:JP系列镀膜机

    所属系列:半导体加工设备-镀膜设备-磁控溅射机

    JP系列镀膜机适用范围:
    适用于企业批量化生产高致密度高结合力薄膜。
    JP系列镀膜机技术特点:
    配备DCRF磁控溅射源,侧面溅射,可溅射金属和介质材料;溅射靶可方便清洁和更换;工件架鼠笼式多边型结构或公自转结构,装夹量大,适应性强。


    主要技术性能参数:

    型号Model
    参数Parameter
    JP-700
    JP-900
    溅射室尺寸∕mm
    Φ700×860
    Φ900×1200
    溅射方向
    侧面溅射
    溅射室类型
    立式前开门方式
    极限压力∕Pa
    5×10-4
    抽气时间∕min
    从1×105Pa至2×10-3Pa≤20
    溅射工作压力∕Pa
    10-10-1
    真空系统
    油扩散泵系统 气动阀门
    溅射靶尺寸∕mm
    80×740
    120×1050
    溅射靶数量
    1个或2个
    靶电源功率∕kWS
    1套DC10
    1套DC25
    工作旋转∕r•min-1
    3-12
    工件盘直径∕mm
    -
    -
    烘烤温度∕
    室温至300 可调
    工艺气体控制方式
    一套质量流量控制器,一套自动压强仪
    冷却水流量∕L•min-1
    20
    25
    水压∕kPa
    2.5×105
    进水温度∕℃
    ≤25
    压缩空气∕kPa
    (5-8)×105
    用电功率∕kW
    25
    60
    占地面积∕mm
    宽×深×高
    2000×2500×2100
    2500×3000×2300


       北京北仪创新真空技术有限责任公司(原北京仪器厂)创建于1954年,总部位于中央商务区(CBD)的中心位置。生产基地位于大兴工业开发区,占地面积31064平方米,建筑面积45504平方米。2003年通过ISO-2000质量体系认证。共有真空获得、真空测量、真空应用三大类产品,从低真空到超高真空30多个系列160多个品种。产品广泛地应用于航天航空、电子信息、光学产业、冶金、建筑装饰、食品、纺织、电力环保及新能源等行业。经过50多年对真空技术的探索,通过与全国多所大专院校、研究院所进行的多次合作开发,以及公司研发人员不断的创新与研发,北仪创新公司始终站在中国真空行业的前沿。
        在真空测量技术、真空获得技术、光学多层全自动镀膜技术、通用磁控溅射及多靶磁控溅射技术(DC、MC、RF溅射技术)以及PECVD技术等方面处于国内领先,并有多项科研成果获得国家专利。近年来,为多个院校、研究院所开发制造多台用于研究薄膜太阳能电池的实验室设备。在拥有成熟的真空技术的基础上,2006年北仪创新公司研制成功了国内首条自行设计制造的非晶硅薄膜太阳能电池生产线,其核心是采用单室多片大面积PECVD沉积技术,用于生产大型玻璃光电模板一次完成多片数十平方米的双节非晶硅薄膜的沉积,在相对低的设备投资下取得较高的大面积模板的产量,产品的性能指标达到国际同等水平,设备销往广东、福建、浙江等地区,改变了以往我国非晶硅薄膜电池生产线依靠进口的现状。

    北仪创新公司一贯秉承并将继续坚持“诚信 精益”的企业精神,不断汲取客户的建议及业界的先进技术,以“顾客先导 持续改进”的价值观在合作中实现共赢。

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