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当前位置: 首页 » 设备馆 » 半导体辅助设备 » 气体类辅助设备 » 设备尾气处理 »CT-W 湿法尾气处理
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    包邮 关注:1314

    CT-W 湿法尾气处理

    应用于半导体行业：

    半导体辅助设备-气体类辅助设备-设备尾气处理

    产品品牌

    Centrotherm

    库       存：

    1000

    产       地：

    德国

    数       量：

    减少 增加

    价       格：

    ￥1000.00
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    品牌：Centrotherm

    型号：

    所属系列：半导体辅助设备-气体类辅助设备-设备尾气处理

     

    CT-W 湿法尾气处理

    半导体行业高效率系统

    　　湿法尾气处理在不同的CVD和蚀刻工艺废气排放处理方面非常有效，Centrotherm
    湿法尾气处理较常见的尾气处理设备有很大的优势：CT-W的特色是可以减少废气中
    99%的灰尘颗粒，吸附灰尘颗粒，并排出废水。
    CT-W可以作为一个独立的装置进行安装；在燃烧水洗系统CT-BW2009中，也
    可作为附件模块。CT-W湿法洗涤器可以独立的工作，也可以嵌入CT-BW。比如，
    根据欧标由于强酸或灰尘，额外的湿法阶段，是非常必要的。当我们使用CT-BW时,
    灰尘的减少和酸气的吸附率超过99.0%。
    •  
    • 规格

    • 清洗效率高达99.99%

      减少灰尘高达99%，没有麻烦的干法除尘处理

      成本非常低

      全自动

      最高运行时间大于99%

      综合过程和系统监控

      可同时操作出来4个进气口

      旁路阀（选配）

      废气流量高达3,000SLM,有3种不同的洗涤塔可供选择

      SEMI S2/CE 和 NFPA79 认证:2002获批准

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