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    晶圆烤箱,超洁净烤箱

    应用于半导体行业:

    半导体加工设备-炉类设备-高温炉

    库       存:

    5

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-炉类设备-高温炉

     晶圆烤箱,超洁净烤箱简介:

       晶圆烤箱,超洁净烤箱工作室内充满了惰性气体N2,防止材料在烘烤时被氧化。无氧烤箱主要用于:IC包装,LCD,晶体管,传感器,二极管,石英晶体振荡器,混合集成电路板等电子、IC、医疗卫生、仪器仪表、工厂、高等院校、科研等部门。

    晶圆烤箱,超洁净烤箱技术参数:

    内桶:采用SUS304#镜面不锈钢板,经碱性苏打水清洁,避免烘烤时产生灰尘;
    中桶:采用SUS304#镜面不锈钢板,经碱性苏打水清洁,全氩弧焊焊接密封,避免烘烤时自身污染;
    外部材料:采用SUS304拉丝不锈钢板制造;
    保温材料:采用国产优质超细玻璃棉,100K级高密度高保温材料制造,六面保温;
    洁净度:100级、10级、1000级

    氮气进气口:加装流量计控制进气量,入气口:6mm;
    排气口:自动启动风门,达到强烈循环效果而降温的目的

    电源:AC220V/380V 50Hz 
    温度均匀度:≤±2.0℃;

    温度范围:RT+20~300℃,
    氧含量:≤500ppm;

    内尺寸:W710mm ×D 610mm ×H 560mm(可做上下两箱);

    传感器:采用日制进口感温芯片,不锈钢外套,输出被控制元件:SSR固态继电器输出;
    温度控制器:采用多段温度控制器,数字设定,LED显示,PID自动演算,SSR固态继电器输出;
    温度控制器显示精度: 0.1;

    晶圆烤箱,超洁净烤箱保护装置:

    超温防止警报装置;
    电热、马达过电流保护;
    控制回路短路及过载保护;
    漏电断路器;
    逆向防止器;
    机台异常风鸣器;

    采用电磁门锁,附断电防开门装置;
    三色指示灯:黄色待机,绿色运转,红色超温指示;
    配合烘烤流程,控制氮气及空气之启闭,避免氮气浪费;

    配套使用设备推荐:
    智能型HMDS烤箱,不锈钢HMDS烘箱的重要性:
      光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的,而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的,这造成光刻胶和硅片的黏合性较差,尤其是正胶,显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处,容易造成漂条、浮胶等,导致光刻图形转移的失败,同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。  在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺也显得尤为重要。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后,经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。

    智能型HMDS烤箱,不锈钢HMDS烘箱主要技术性能:

    电源电压:AC 220V±10%/50Hz±2%

    输入功率:2500W

    控温范围:RT+10℃-250℃

    温度分辨率:0.1℃

    温度波动度:±0.5℃

    达到真空度:133Pa(1torr)

    工作室尺寸(mm):450*450*450(可自定义)

    智能型HMDS烤箱,不锈钢HMDS烘箱的优越性:


    智能型HMDS烤箱定做,不锈钢HMDS烘箱预处理性能更好,更加均匀;效率高,一次可以处理多达4盒的晶片;更加节省药液;低液报警、防药液泄漏等具有很强的安全保护功能;,有可自动吸取添加HMDS功能,智能型的程式设定,一键完成作业。


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