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    无氧退火炉 真空气氛烧结炉

    应用于半导体行业:

    半导体加工设备-炉类设备-退火炉

    产品品牌

    鑫南光

    库       存:

    100

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:鑫南光

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-炉类设备-退火炉

    成都卧式真空炉又名无氧退火炉、真空气氛烧结炉 是指元件材料在充入一定气体的炉膛内进行烧结的工艺。 不同的元件材料选择适宜的气氛烧结,有助于烧结过程,提高元件材料致密化程度、获得良好性能的元件材料。真空气氛炉常用的惰性气体有真氢、氧、氮和(如氩)等多种气体。例如透明氧化铝陶瓷可用氢气氛烧结,透明铁电陶瓷宜用氧气氛烧结,氮化物陶瓷如氮化铝等宜用氮气氛烧结。 有时为保证烧结工艺也须在保护气氛中操作。如钼丝炉宜通氢,钨丝炉宜在真空条件下工作。以上文章由成都氢气炉,成都氢气炉厂,成都真空氢气炉编辑提供

    一、用途:

    本设备为真空或多气氛保护两用炉。供材料或器件在真空环境或保护气氛环境下进行烧结、钎焊、热处理实验用,也可作为批量不大的生产用。

    二、主要技术参数:

    1、炉型: 单位卧式

    2、有效工作区: Φ200×200(mm)

    3、炉温:最高温度1500℃    工作温度1300℃、温度均匀性≤±5℃(空载,真空状态)

    4、真空度:极限真空:9×10-4Pa、工作真空:5×10-3Pa

    5、抽气时间:≤40min(大气状态至工作真空度)

    6、控温方式:1点  程序自动

    7、气冷压强:≤0.12MPa

    8、操作方式:手动/自动.

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