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    URE-2000A型光刻机 上海佰芯

    应用于半导体行业:

    半导体加工设备-光刻设备-UV光刻机

    库       存:

    100

    产       地:

    中国-上海市

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-光刻设备-UV光刻机

    URE-2000A型光刻机 上海佰芯

    ◆ 曝光面积:150mm×150mm
    ◆ 分辨力:0.8-1μm(胶厚2μm的正胶)
    ◆ 对准精度:0.6μm
    ◆ 掩模样片整体运动范围:X:6mm;Y:6mm
    ◆ 掩模尺寸:3英寸、4英寸、5英寸、7英寸
    ◆ 样片尺寸:直径15mm-- 150mm;厚度0.1mm--8mm
    ◆ 照明均匀性: 3.5%(100mm 范围); 5%( 150mm范围)
    ◆ 掩模相对于样片运动行程:X: 5mm; Y: 5mm; : 6度
    ◆ 最大胶厚:500m(SU8胶,用户提供匀胶条件)
    ◆ 光源平行性:3.5
    ◆ 汞灯功率:1000W(直流)
    ◆ 曝光设定方式:定时(倒计时方式0.1s-999.9s任意设定)
    ◆ 外形尺寸:1400mm(长)1200mm(宽) 2150mm(高)

    (1)曝光头
    ◆冷光椭球镜
    ◆1000W进口直流高压汞灯(德国欧司朗,长寿命型)
    ◆XYZ汞灯调节台
    ◆光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组(100个透镜)、i线滤光片、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2
    ◆冷却风扇
    ◆循环水冷系统
    (2)对准工件台
    ◆掩模样片整体运动台
    ◆掩模样片相对运动台
    ◆转动台
    ◆样片调平机构,自动完成
    ◆样片调焦机构,自动调
    ◆承片台4个(2英寸、3英寸、4英寸、6英寸)
    ◆掩模夹4个(3英寸、4英寸、5英寸、7英寸)
    ◆基片抽拉式上下机构
    (3)对准显微镜
    ◆光源(配备品2只)、电源
    ◆双目双视场对准显微镜主体
    ◆目镜3对(10倍、16倍、20倍,共6个)
    ◆物镜3对(4倍、10倍、20倍,共6个)
    (4)CCD对准系统
    ◆光源(配备品3只)、电源
    ◆成像光学系统
    ◆数据采集卡
    CCD
    (5)电控系统
    ◆汞灯触发电源(1000W直流汞灯)
    ◆单片机控制系统
    ◆控制柜桌
    ◆计算机系统及液晶显示器(21寸宽屏)
    (6)气动系统
    ◆气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
    ◆电磁阀驱动
    ◆气动仪表
    (7)其他附件
    ◆真空泵一台(无油泵)
    ◆空压机一台(静音泵)
    ◆管道
    (8)技术资料
    ◆使用维修说明书
    ◆显微镜使用说明书

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