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    等离子清洗机PT-03-LF

    库       存:

    5

    产       地:

    中国-北京市

    数       量:

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    主营:等离子清洗机,刻蚀机,光刻机,表面轮廓仪等半导体微电子行业相...

    地区:中国-北京市

    地址:北京市昌平区科技园区创新路11号创业大厦610

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    主机参数规格
    射频发生器:40KHz0-100W 
    整机功率:不超过300W (不含真空泵)
    清洗舱规格:φ 130mm ; L 160mm ;不锈钢材质舱体+舱门带有观察窗
    清洗舱有效容积:大约3L
    气体流量计:1路浮子流量计
    控制系统:半自动控制 

    数字计时器:可设定处理时间 1-9999S
    工艺气体接口:标准内径4mm,外径6mm软管
    整机供电:220V / 8A
    整机尺寸:W 650mm ; H 300mm ; D 450mm
    配套附件:托盘一个,波纹管一条(连接主机与真空泵),快插转换头一个(6mm

    真空泵参数
    型号:VRI-2
    抽速:2m³/h

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