网站首页

|EN

当前位置: 首页 » 设备馆 » 半导体测试设备 » 电学性能测试 » 手动探针台 »高低温真空探针台 CGO系列
    包邮 关注:379

    高低温真空探针台 CGO系列

    库       存:

    100

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:

    型号:

    所属系列:半导体测试设备-电学性能测试-手动探针台

    • 产品型号   CGO系列
    • 产品描述

       

             高低温真空探针台,温度范围可选,适用于真空高低温环境下样品测试。

      PS:探针台属于非标产品,均可根据客户需求进行定制。

       

       

     
    产品介绍

       高低温真空探针台     

    极低温测试:

    因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。

    高温无氧化测试:

    当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。 

    晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件电极间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。

                            

     

     

    整体规格:                                             

    载物Chuck 温度范围:4.2K-480K        

    外置4个定位针臂

    探针X-Y-Z三方向移动,行程:25mm,定位精度:10微米

    最多可以外置6个定位针臂

    载物chuck 最大可到2寸

    双屏蔽chuck高低温时达到100FA 的测试精度

    针臂定位精度可以升级为0.7微米

    极限真空到10-8 torr

    可以选择射频配件做最高67 GHz的射频测试

    可以选择防震桌

    可以选择超高真空腔体

    客户订制

    温控规格:                                                 

    控温范围

    4K-480K

    控温精度

    0.1K

    温度稳定性

    4 K        + - 0.2 K

     

    77 K     + - 0.1 K

     

    373 K    + - 0.08 K

     

    473 K       + - 0.1 K

     

    823 K       + - 0.2 K(可选)

     

    973 K    + - 1.0K(可选)

    常温到8K冷却时间:

    1小时40分钟

    8K到常温升温时间:

    1小时30分钟

     从常温开始的升温时间          

    200 ℃     550℃     700 ℃

     (4 chuck,单位分:秒)

    1:00         1:30         2:00

    电源

    直流

    材质

    不锈钢

    功率(4chuck) 

    850W

     

    机械规格:                                              

     针座行程

     X轴方向

    25.4mm(1 inch)

     

    可以选择50.8mm 

     Y轴方向

    25.4mm(1 inch)

     

    可以选择50.8mm 

     Z轴方向

    25.4mm(1 inch)

     

    可以选择50.8mm 

    移动精度

     

     X轴方向

    10 micron

     

    可以选择0.35,0.7,5,10 or 20 micron

     Y轴方向

    10 micron

     

    可以选择0.35,0.7,5,10 or 20 micron

     Z轴方向

    10 micron

     

    可以选择0.35,0.7,5,10 or 20 micron

     探针可旋转角度

    +-5 度

     

     

     

    光学部件规格:                                         

    显微镜X-Y轴方向行程

    2"*2"

     

    可以选择4"*4"

    总共放大倍率

    240X

     

    可以选择更高倍率

    真空腔观察窗口

    2 inch

     

    外部石英材质99%红外线穿过率

     

    内部吸收红外线仅可见光通过

    光源

    150W可连续调节

    双光纤导引

     

    可选附件                                                                                                                 

    防震桌

    方形chuck

    分子泵组

    射频部件

    Chuck可外部移动装置

    客户定制。

    咨询

    购买之前,如有问题,请向我们咨询

    提问:
     

    应用于半导体行业的相关同类产品:

    服务热线

    4001027270

    功能和特性

    价格和优惠

    微信公众号