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    W系列—弧高台阶仪 苏州爱特盟

    产品品牌

    苏州爱特盟

    库       存:

    100

    产       地:

    中国-江苏省

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:苏州爱特盟

    型号:

    所属系列:半导体测试设备-表面形貌测试-台阶仪

    W系列—弧高台阶仪
     专利号:ZL201120280620.7

     

    探测系统:

    显微探头:实现快速弧高及台阶测量,可测弧高台阶范围50~2000μm(一般弧高的高度不超过800μm),并支持器件几何尺寸测量;
    激光探头:

    实现快速台阶测量,可测台阶范围2~500μm,并支持表面轮廓扫描。

     

    系统配置:

     

    用途
    1.弧高测量 2.台阶测量 3.器件尺寸测量
    型号
    WB-70RX
    载物台
    全自动载物台
    行程:105mm X 105mm
    支持夹具定制
    聚焦
    电动聚焦系统,解析率:1.0μm
    显微探头:含影像自动聚焦及特有双ROI长焦扫描功能
    激光探头:含影像辅助定位功能
    照明系统
    环形、同轴照明可选
    软件系统
    图像处理软件系统,
    带虚拟弧高算法功能及SPC控制模块
    检查性能
    显微探头:高度测量3σ≤3.0μm,精度±3um;
    激光探头:高度测量3σ≤0.2μm,精度±0.2um;
    标配外观尺寸
    长:800mm  宽:750mm  高:1500mm

     

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