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    用于石英管高真空封口获取更高的真空度可到10-4pa真空分子泵机组

    应用于半导体行业:

    半导体辅助设备-真空泵-分子泵

    产品品牌

    科探仪器设备

    库       存:

    666

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:科探仪器设备

    型号:

    所属系列:半导体辅助设备-真空泵-分子泵

       

    用于石英管高真空封口获取更高的真空度可到10-4pa真空分子泵机组


     
         KT-F110S 标准复合分子泵机组是一台清洁的高真空获得设备。此设备是根据真空知识原理,利用机械泵、涡轮分子泵组合成的真空获得系统,具有启动时间快、真空度高、操作方便等特点。广泛应用于表面分析、加速器技术、等离子体技术、电真空器件制造及真空的各个领域。设备的具体组成主要包括真空测量系统、真空室、阀门及真空管路、电器控制系统等

    7F110真空机组1_说明书8F110真空机组39F110真空机组2_说明书

    技术参数:

     

    控制方式

    手动控制

    前级泵

    双极4旋片真空泵

    前级泵抽气速率

    4L/S

    前级泵极限压强

    ≤1Pa

    分子泵

    F-100/110  4300转/分

    分子泵抽气速率

    100L/S

    分子泵启动时间

    ≤3min

    空载极限压强

    ≤1X10-4Pa

    真空测量范围

    电阻单元1E﹢5到1E-1 Pa

    电离单元    5到5E-5Pa

    抽气接口

    KF25

    系统电源

    AC220V

    系统功率

    1KW

    环境温度

    5~32

    冷却方式

    强制风冷却

    湿度

    ≤80%

    噪音

    <60分贝

    外形尺寸

    430 X500 X 650mm

    重量

    65KG

    随机配件:KF25高真空挡板阀X1个   KF25卡箍X3个   kf25-1.5米不锈钢波纹管x1根   说明书X1本  电源线x1根  油污过滤器X1个(已安装)



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