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    实验室智能管式炉质量流量计气体配比器

    应用于半导体行业:

    半导体加工设备-炉类设备-实验电炉

    产品品牌

    科探仪器设备

    规格型号:

    详询

    库       存:

    999

    产       地:

    中国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    客服电话:4001027270

    品牌:科探仪器设备

    型号:详询

    所属系列:半导体加工设备-炉类设备-实验电炉

     产品用途

    气体配比器主要用于气体流量测试,并按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境. 控制方式采用集成化模块控制 功能延伸性强 根据客户要求随意添加

    该气体配比器可以外接3或多种气体,采用质子型流量计,气路管道采用316抛光管制作耐腐蚀性强.气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏.

     

    1.半导体制造行业中气体流量控制

    2.各种真空镀膜设备

    3.特种材料表面处理

    4.气体燃烧控制

    5.混和配气系统

    6.泄漏探测系统

    7.环境检测与分析设备

    8.分析仪器的气体流量计量与控制

    9.化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所
    智能气路3_官网主界面1

    技术资料

     

     

    产品型号

    KT-C3Z

    产品类型

    高精度型/快速响应型/智能控制 触摸屏控制

    可选量程

    20sccm,30sccm,50sccm, 200sccm,500sccm,1slm ,5slm,10slm

    产品精度

    高精度型±1%F.S     普通型±1%F.S 

    重复精度

    高精度型±0.2% F.S   普通型±0.2% F.S

    线性

    高精度型±0.5% F.S.   普通型±1% F.S.

    响应时间

    高精度型≤2sec     普通型≤4sec

    工作温度范围

    (5~45)°C

    供电电源

    ~85-265VAC 50/60Hz

    最大功耗

    40W

    进气口压

    ≤0.6MPa

    连接管道

    φ4-6mm316不锈钢管道

    截止阀类型

    电磁阀

    单向阀开启压力

    0.02Mpa

    压力显示量程

    0-0.6Mpa

    控制方式

    7寸触摸屏智能调节

    时间设定

    0-99999

    清洗功能

    一键清洗

    数据导出

    程序控制

    5段可编程序(时间-流量随意设定值)

    压力显示

    有(出气压力检测)

    气体缓冲罐

    流量累计

    有(累计当前运行总流量)

    可选进出气口接头形式

    3MM 6MM 1/8mm 1/4mm 双卡套接头

    抗电磁干扰

    外形尺寸

    460x210X480

    重量

    18KG


    联系电话:0371-60308298
    手机/微信:152 8682 6848
    QQ:760625767
    联系人 :李工

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