X61 D13B3M-9T型双面研磨机_研磨机_晶圆减薄抛光设备_半导体加工设备_设备馆

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X61 D13B3M-9T型研磨机技术规格书

一、产品用途

本机主要用于蓝宝石、硅片、光学玻璃、陶瓷片、石英晶体及其他半导体材料的双面研磨，也可用于其它硬脆材料的双面高精度研磨加工。

二、 主要特点

2.1、高性能变频器配合三相异步电动机拖动，实现了软启动、软停止、调速平稳、冲击小；

2.2、采用三电机同步拖动，中心齿轮的变速（即可正转，也可反转）范围广，工艺调整方便；

2.3、该设备采用可编程控制器(PLC)控制,PT人机界面显示设备各项运行参数，压力采用电-气比例阀闭环控制，压力控制精确稳定；

2.4、该机可由用户设定存贮多套不同的工艺，每套工艺可以设定二十步参数（压力、时间、速度、速比、缓降压力、浮动时间等），以供操作工调用，。

2.5、该机具有研磨盘自动称重功能，以此配合研磨压力设定，可自动消除由于研磨盘磨损而造成的压力不稳定现象，从而保证了同样研磨工艺参数（所设压力、时间、速度以及研磨液粒度、浓度、流量）的研磨效率长久不变。

2.6关键外购元件采用进口配套，保证了设备的使用可靠性要求。

三、 设备基本参数

3.1、研磨盘规格（外径×内径×厚度）： φ914mm×φ534mm×50mm

3.2、游星轮规格

公制: M=2 Z=114 α=20°

英制：DP12 Z=108 α=20°

3.3、最小研磨厚度： 0.15mm

3.4、最多安装游轮数量：9个

3.5、加工能力： 36片 /φ75mm，72片/φ50mm

3.6、最大研磨直径： φ180mm

3.7、下盘转速： 0-40rpm

3.8、主电机： 7.5kW AC380V 1460rpm

3.9、太阳轮电机： 1.5 kW AC380V 1400rpm

3.10、齿圈电机：1.5 kW AC380V 1400rpm

3.11、外型尺寸：1290mm×1600mm×2850mm

3.12、重量：约3000kg

四、 基本配置

4.1、气动元件　　　 SMC

4.2、减速器　　　　　　　　　　国产

4.3、轴承　　　　　　国产

4.4、可编程控制器〔PLC〕 OMRON

4.5、可编程人机界面PT　 OMRON

4.6、拉力传感器　　　　国产

4.7、变频器　　　　　　　施耐德

4.8、低压电器 213、魏德米勒等

4.9、旋钮开关、电器开关 213、和泉等

4.10电机国产

五、主机精度

5.1、下研磨盘端面跳动≤ 0.06mm

5.2、上、下研磨盘平面度≤0.02mm

六、设备的安装

设备应安装在地面平坦，远离振动源，无灰尘烟雾污染的场所。

a 温度10℃-25℃

b 相对湿度≦95%

c 电源电压AC 380V ，50Hz

d 压缩空气源 0.5-0.6Mpa（干燥的清洁空气）