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    森永 50B铜抛机

    产品品牌

    森永

    库       存:

    100000000

    产       地:

    中国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:森永

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-晶圆减薄抛光设备-CMP磨抛机

     4个P.P盘独立控制可四轴同时加工也可单个P.P独立加工

    4个PP盘可做上盘冷却系统。

    4个P.P盘变频电机强制驱动,P.P转速可调

    4个P.P盘可以于两侧分别单独操作,也可以在触摸屏中集中操作

     

    4个P.P盘分别有独立稳压系统

     

    4个P.P盘可以实现“快下降、缓下降、缓上升、快上升”

     

    P.P着盘压力可控,保证无法承受高压力晶片的加工

     

    P.P单头压力可达350Kg(可扩展),压力可在触摸屏中监控和调整

     

    特制低摩擦空压气缸非市售一般气缸,气缸轴粗壮避免偏摆

     

    定盘带有自动水冷机构,防止加工物和定盘发热,通过恒温冷水的流动实现定盘温度的恒定,并可通过红外温度传感器在触摸屏中监控

     

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