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    HXMF05系列数字式气体质量流量计/控制器

    应用于半导体行业:

    半导体器件-MFC-无毒气体类

    产品品牌

    华旭世纪

    库       存:

    999

    产       地:

    中国-北京市

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

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    主营:技术开发、技术服务;销售机械设备、电子产品、家用电器、五金交...

    地区:中国-北京市

    地址:北京市房山区良乡北关盛通广场708室

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    品牌:华旭世纪

    型号:

    所属系列:半导体器件-MFC-无毒气体类

     ::产品描述::

     

    北京华旭世纪HXMF05系列气体质量流量计/控制器,采用了数字式技术,相比模拟技术,HXMF05系列产品提高了精度和数字化程度。它采用了毛细管热传感技术和热温差原理,来测量和控制气体的质量流量。由于热温差只和气体的质量流量有关,因此其测量值不受气体的温度和压力变化的影响。

        HXMF05系列小流量热式质量流量产品,采用了紧凑型设计,体积小巧精致,产品坚固耐用。产品使用了线性化校正电路和EMI保护,具备安全可靠、性能稳定、低功耗、寿命长等特点。

        在数据传输上,不但具备传统的有线式,还具备局域网无线传输数据,互联网远程数据监控云平台等强大功能。

     

     

    ::产品特色::

     

    ● 数字化技术,更快速的响应时间

    ● 优于1%FS的高精度

    ● 出色的长期稳定性

    ● 可测量腐蚀性气体,坚固耐用

    ● 精巧的外观设计,全面的安全保护电路及EMI

    ● 可配专用显示表,显示瞬时流量

    ● 诸多选项:高精度、自定义量程、流量信号无线传输

                远程数据监控云平台、短信报警、邮件报警等

     

     

    ::典型应用::

     

    · 光伏及晶体制备   · 真空行业及镀膜   · 泄漏检测

    · 炉窑及微反应装置   · 半导体行业   · 大学/研究所

    · 分析仪器   · 气体混合配比   · 计量及计价

    · 燃料电池   · 燃烧测试   · 其它气体测控场合

     

     

    ::性能指标::

     

    介质要求:与介质兼容的气体,支持腐蚀性气体

    介质种类:客户指定,也可现场更改-需咨询我们

    标定工况:0℃ @ 1 atm(氮气)

    测控量程:从0~5sccm到0~250slm任选,可定制更高流量范围

    量程比:50:1

    精度:±0.35%F.S.或±1.0%RD,取数值大者(FS-满量程 RD-读数)

    重复性:±0.2%F.S.

    流量分辨率:0.1%F.S.

    响应时间:1.5S

    阀门状态:常闭(仅控制器,流量计无阀门)

    工作温度:5~45℃

    工作湿度:0~100%RH(无冷凝)

    工作压差范围:流量计 0.02MPa~3MPa

                 控制器 0.1~0.5MPa(>10SLM为0.1~0.3MPa)

    最大耐压:3MPa,可选高压选项10MPa

    输入输出信号:标准为RS485,可选0~5V

    通讯协议:Modbus

    供电电压:24VDC@250mA

    电气接口:DB15pin,2XRJ45

    泄漏率:≤1×10-10次方Pa·立方米 /S(He)

    接液材质:316L SS

    密封材料:根据气体种类由厂家选择或客户指定,包括:PTF、氟橡胶FKM、全氟橡胶FFKM、NBR、EPDM、CR、VMQ,等

    管道接头:1/4〃VCR,1/8、1/4、3/8双卡套,3、6、8、10mm双卡套

    外形尺寸:长×宽×高:127×30×128.5mm

    产品重量:流量计0.75kg

              控制器0.9kg

     

     

    ::订购信息::

     

    · 流量计或控制器   · 气体种类   · 流量范围  

    · 工作温度         · 入口压力   · 出口压力

    · 管道连接尺寸和类型        · 输入/输出信号

    · 安装姿势   · 选项及其它特殊要求:请咨询我们

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