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    HXGM系列气体混合配比仪/混配仪

    应用于半导体行业:

    半导体器件-MFC-其他

    库       存:

    999

    产       地:

    中国-北京市

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

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    主营:技术开发、技术服务;销售机械设备、电子产品、家用电器、五金交...

    地区:中国-北京市

    地址:北京市房山区良乡北关盛通广场708室

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    品牌:

    型号:

    所属系列:半导体器件-MFC-其他

     ::产品描述::

     

    北京华旭世纪HXGM系列气体混合配比仪/混配仪,采用了高精度质量流量控制器、高效气体混合皿等核心部件,可以精确、均匀、快速地混合配比多路气体。由于使用了质量流量进行气体测控,因此混配仪可以不受介质压力、温度的影响。

        接液材质上,HXGM系列混配仪管路均采用了316L不锈钢材质,并具有多种材料诸如NBR、PTFE、FKM、全金属等进行密封,因此适用于绝大部分的气体。

        使用上,每一路气体控制器全部为自动化控制,流量控制更加智能化,并且可以方便地通过触摸屏、电脑软件、显示仪表、无线远程网络等途径进行观察、控制、数据保存和处理。仪器使用简便,可靠耐用,广泛应用于大学/研究院、环境监控、食品、工业气体控制等各行各业。

     

     

    ::产品特色::

     

    ● 2路到多路气体混合配比,不限气体种类和数量

    ● 每路气体测控重复性精度高达0.5%F.S.

    ● 稀释比范围宽,从PPB级别到PPM级别到100%

    ● 多种密封材质,支持腐蚀性气体和有毒有害气体

    ● 混气快速,节省客户时间和气源

    ● 采用高效混气皿核心部件,混气均匀平稳

    ● RS485接口,数据管理功能,可方便对数据进行观察和保存

    ● 诸多定制选项:例如压力、温湿度、浓度的测量,无线传输等

     

    ::典型应用::

     

    ·浓度校准   ·大学/研究院   ·半导体   ·材料研制行业  

    ·脱硫脱硝   ·环境监测   ·石化天然气   ·焊接与蚀刻  

    ·食品消毒/杀菌/保鲜/包装等   ·分析仪器   ·微电子行业  

    ·工业反应器气体供应   ·其它工业气体测控与合成行业

     

    【应用场合图】

     

    ::性能指标::

     

    介质要求:与介质兼容的气体,支持腐蚀性气体

    介质种类:种类不限,可由客户指定,也可现场更改-需咨询

    混气路数:2路~18路任选,也可定制更多混气路数

    标定工况:0℃ @ 1 atm(氮气)

    总气体量:0~4000SLM范围内,更多请咨询

    混气稀释比:从100PPB~1PPM~100% 可调,可定制

    控制重复性精度:±0.5%满量程

    工作压差范围:0.1~0.5MPa

    最大耐压:3MPa,中压可选10MPa,高压可选50MPa

    响应时间:2S,可选快速选项100mS

    输入介质温湿度:5~45℃   0~100%RH(无冷凝)

    输出信号:标准为RS485,可选RS232、Modbus

    供电电压:220VAC,50HZ

    泄漏率:≤1×10-10次方Pa·立方米 /S(He)

    接液材质:316L SS

    密封材料:根据气体种类由厂家选择或客户指定,包括:PTFE、氟橡胶FKM、全氟橡胶FFKM、NBR、EPDM、CR、VMQ,等

    管道接头:1/8〃 1/4 3/8 1/2 双卡套,或3 6 8 10 12mm光管

    显示方式:电脑软件,触摸屏,显示二次仪表,可同时存在

    外形尺寸及重量:根据路数而定,具体请咨询

     

     

    ::订购信息::

     

    · 几路气体控制     · 气体种类   · 流量范围  

    · 工作温度         · 入口压力   · 出口压力

    · 管道连接尺寸和类型        · 输入/输出信号

    · 安装姿势   · 选项及其它特殊要求:请咨询我们

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