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    ALICAT基本型气体质量流量计/控制器

    应用于半导体行业:

    半导体器件-MFC-无毒气体类

    库       存:

    999

    产       地:

    美国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

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    主营:技术开发、技术服务;销售机械设备、电子产品、家用电器、五金交...

    地区:中国-北京市

    地址:北京市房山区良乡北关盛通广场708室

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    品牌:

    型号:

    所属系列:半导体器件-MFC-无毒气体类

     :产品描述::

     

    美国ALICAT 11系列基本型质量流量控制器,美国ALICAT 11系列标准型质量流量控制器,采用内部补偿型层流压差专利技术,使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异,并对用户标准工况进行修正。所有Alicat质量流量控制
    器均具有NIST可溯源校准证书。Alicat的11系列数字式质量流量控制器可用于快速精确地测量并控制过程气体的质量流量。采用快速稳定的优质电磁阀以及优化的PID调校,可达到优于100ms的控制速度,并保持极佳稳定性。

    产品特点 

    ● 低价位产品
    ● 标配模拟控制方式,数字可选
    ● 高量程比 200:1
    ● 响应时间快 仅需100ms(可调)

    技术参数 

    介质要求:非腐蚀性、洁净、干燥的气体

    介质种类:单种气体标定,请参考背面气体兼容表

    量程:从0-10SCCM 到 0-20SLPM(详情请咨询)

    量程比:200:1

    最大显示流量:102.4%FS

    精度:± (0.8%RD+0.2%FS),RD-读数 FS-满量程

    重复性:± 0.2% FS

    零点漂移&满量程漂移:0.02% FS / ºC / Atm

    预热时间:<1s

    响应时间:100ms(可调)

    标定工况:25ºC & 100kPa 绝压

    工作温度:-10 ~ +50 ºC

    工作湿度:0-100%,无冷凝

    标准最大工作压力:1MPa 表压

    标准极限耐压:1.2MPa 表压

    中压选项:2MPa

    模拟输入/输出信号:0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA

    数字输入/输出信号:可选RS-232

    供电电压:7-30 Vdc (如选4-20 mA输出,须为15-30 Vdc)

    供电电流:250mA

    电气接口:DB15

    材质:302不锈钢、Viton、硅胶RTV、玻璃增强尼龙、铝、

    黄铜、 430FR 不锈钢、 硅、 玻璃

    安装方式:对位置无要求 防护等级:IP40

    应用及案例 

    ● 大学/研究所
    ● 环境监测
    ● 真空镀膜
    ● 工业炉窑
    ● 半导体
    ● 汽车制造
    ● 光伏
    ● 燃料电池
    ● 计量
    ● 过程工艺气体测量

     

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