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    ALICAT标准型气体质量流量计/控制器

    应用于半导体行业:

    半导体器件-MFC-无毒气体类

    库       存:

    999

    产       地:

    美国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

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    主营:技术开发、技术服务;销售机械设备、电子产品、家用电器、五金交...

    地区:中国-北京市

    地址:北京市房山区良乡北关盛通广场708室

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    品牌:

    型号:

    所属系列:半导体器件-MFC-无毒气体类

     :产品描述::

     

        美国ALICAT 21系列标准型质量流量控制器,采用内部补偿型层流压差专利技术,使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异,并对用户标准工况进行修正。所有Alicat质量流量控制器均具有NIST可溯源校准证书。

         Alicat的21系列数字式质量流量计可用于快速精确地测量并控制过程气体的质量流量、体积流量、压力,并显示气体温度,适用于多种流量测控场合。设备采用快速稳定的优质电磁阀以及优化的PID调校,可达到由于100ms的控制速度,并保持极佳稳定性,并有超低压降产品可供您选择。

     

    产品特点 

    ● 数字化产品
    ● 多参数显示和输出:温度、压力、流量等
    ● 多参数控制,如体积流量、质量流量和压力
    ● 标配三种控制方式:数字、模拟和本地面板
    ● 可选高精度:优于0.5%
    ● 高量程比 200:1
    ● 响应时间快 仅需100ms
    ● 内置98种气体
    ● 可现场标定混合气体,并存储20种混合气



    技术参数 

    介质要求:非腐蚀性、洁净、干燥的气体

    介质种类:内置了98种气体,请参考背面气体兼容表

    一台设备内置所有气体,用户可现场选择

    量程:从0-0.5SCCM 到 0-5000SLPM(详情请咨询)

    量程比:200:1

    最大显示流量:102.4%FS

    显示屏:同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

    精度:± (0.8%RD+0.2%FS),RD-读数 FS-满量程

    高精度:±(0.4%Rd + 0.2%FS),选配

    仅适用于量程为5SCCM-500SLPM的设备

    重复性:± 0.2% FS

    零点漂移&满量程漂移:0.02% F.S / ºC / Atm

    预热时间:<1s

    响应时间:100ms(可调)

    标定工况:25ºC & 100kPa 绝压、20ºC & 100kPa 绝压、0ºC & 100kPa 绝压 (三种工况现场可切换)

    工作温度:-10 ~ +50 ºC

    工作湿度:0-100%,无冷凝

    标准最大工作压力:1MPa 表压

    标准极限耐压:1.2MPa 表压

    中压选项:2MPa

    数字输入/输出信号:RS232、RS485、Modbus、Profibus*

    模拟输入/输出信号:0-5Vdc、1-5Vdc、 0-10Vdc、4-20mA

    供电电压:7-30 Vdc (如选4-20 mA输出,须为15-30 Vdc)

    供电电流:250mA ~ 750mA

    电气接口:8针Mini-DIN、DB9、DB15、6针工业接头

    材质:302不锈钢、Viton、硅胶RTV、玻璃增强尼龙、铝

    黄铜、 430FR 不锈钢、 硅、 玻璃

    防护等级:IP40

    * 如选Profibus,则无模拟信号,无显示,其供电电压及

    供电电流需咨询我们



     

    选项及配件 

    标准性能
    多功能数字显示屏
    显示多种测量参数:质量流量、体积流量、温度和压力
    低压损
    无需预热
    Viton
    密封
    8
    针mini-DIN电信号接口
    标准圆形电源接口
    RS-232
    多点式数字输出
    RS-232
    多点式数字输入
    0-5Vdc
    、0-10Vdc或1-5Vdc 多种模拟信号输出可选
    0-5Vdc
    、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA模拟信号输入可选
    可调节PID算法 
    内置30种气体可选
    200:1 
    量程可调比
    NPT
    接头
    可控制从0.5SCCM到3000SLPM的满量程的任何流量
    有条件的终身质保
    可选性能
    高精度
    累加器
    6
    针、DB9或DB15电信号接口
    ProfiBUS
    数字信号输出
    RS-485
    数字信号输出
    4-20mA
    模拟信号输出
    第二种模拟信号输出
    TFT
    背光彩色显示屏
    远程显示屏
    远程TFT背光彩色显示屏
    丙烯酸绝缘涂层
    EPDM
    密封
    NeSSI
    本体
    氧气清洁
    用于高温环境的远程电子包装
    SAE
    接头
    VCR, VCO
    接头
    5VDC
    、12VDC、24VDC排气量报警(过高或过低)
    双向流动
    额外标定点
    定制混个气体(最多4种)
    定制流量范围
    不锈钢阀门
    高流量低压损阀门
    防爆选项
    集成式电位计控制

     

    应用及案例 

    ● 大学/研究所
    环境监测
    真空行业及镀膜
    工业炉窑
    半导体
    汽车制造
    光伏
    燃料电池
    计量
    过程工艺气体测量

     

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