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    ALICAT低压损型气体质量流量计/控制器

    应用于半导体行业:

    半导体器件-MFC

    库       存:

    999

    产       地:

    美国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
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    主营:技术开发、技术服务;销售机械设备、电子产品、家用电器、五金交...

    地区:中国-北京市

    地址:北京市房山区良乡北关盛通广场708室

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    品牌:

    型号:

    所属系列:半导体器件-MFC

     :产品描述::

    美国ALICAT 21W系列低压降质量流量控制器,采用专利技术的内部补偿型层流压差技术,使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异,并对用户标准工况进行修正。所有Alicat质量流量控制器均具有NIST可溯源校准证书。Alicat的21W系列数字式质量流量控制器具有超低压损,满量程压损最低可达360Pa。21W系列可用于快速精确地测量过程气体的质量流量、体积流量、压力和温度,适用于多种流量测控场合,尤其是要求低压损的应用场合。

    产品特点 
    ● 数字化产品
    ● 多参数显示和输出:温度、压力、流量等
    ● 多参数可控:质量流量、体积流量和压力
    ● 可选高精度:可优于0.5%
    ● 高量程比 200:1
    ● 满量程超低压损最低为360Pa
    ● 阀门响应时间快 仅需100ms
    ● 内置98种气体
    ● 可现场标定混合气体(最多5种成分),并存储20种混合气

    技术参数 

    介质要求:非腐蚀性、洁净、干燥的气体

    介质种类:内置了98种气体,请参考“产品资料下载”中气体兼容表

    一台设备内置所有气体,用户可现场选择

    量程:从0-0.5SCCM 到 0-500SLPM(详情请咨询)

    量程比:200:1

    最大显示流量:102.4%FS

    显示屏:带按键,标准为LCD显示屏,可选TFT彩色显示屏

    显示方式:同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

    精度:± (0.8%RD+0.2%FS),RD-读数 FS-满量程

    高精度:±(0.4%RD + 0.2%FS),选配

    仅适用于量程为5SCCM-500SLPM的设备

    重复性:± 0.2% FS

    零点漂移&满量程漂移:0.02% FS / ºC / Atm

    响应时间:100ms(可调) 预热时间:<1s

    标定工况:25ºC & 100kPa 绝压、20ºC & 100kPa 绝压、0ºC & 100kPa 绝压 (三种工况现场可切换)

    工作温度:-10 ~ +50 ºC

    工作湿度:0-100%,无冷凝

    标准最大工作压力:0.3MPa 表压

    标准极限耐压:1.2MPa 表压

    中压选项:2MPa

    数字输入/输出信号:RS232或RS485或Modbus或Profibus*

    模拟输入/输出信号:0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA

    可选第二路模拟输出:质量流量或体积流量或压力或温度

    供电电压:7-30 Vdc (如选4-20 MA输出,须为15-30 Vdc)

    供电电流:250mA ~ 750mA

    电气接口:8针Mini-DIN或DB9或DB15或6针工业接头

    材质:302不锈钢、Viton、硅胶RTV、玻璃增强尼龙、铝

    黄铜、430FR不锈钢、硅、玻璃、416不锈钢

    安装方式:对位置无要求 防护等级:IP40

    * 如选Profibus,则无模拟信号,无显示,其供电电压及

    供电电流需咨询我们

    应用及案例 

    ● 低温容器检测
    ● 大学/研究所
    ● 泄漏检测
    ● 环境监测
    ● 汽车制造
    ● 过程工艺气体测量

     

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