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    ALICAT防爆型气体质量流量计/控制器

    应用于半导体行业:

    半导体器件-MFC

    库       存:

    999

    产       地:

    美国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
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    主营:技术开发、技术服务;销售机械设备、电子产品、家用电器、五金交...

    地区:中国-北京市

    地址:北京市房山区良乡北关盛通广场708室

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    品牌:

    型号:

    所属系列:半导体器件-MFC

     ALICAT防爆型气体质量流量计/控制器

    l 差压原理,具有防爆认证

    l 量程范围:从0-0.5SCCM到0-4000SLPM

    l 压力范围:1MPa

    l 响应时间:流量计10ms/控制器100ms

    l 精度:±(0.8%读数+0.2%满量程)

    l 可选±(0.4%读数+0.2%满量程)

    l 认证:ATEX、CSA,Class 1Division 2

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