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    进口精微影像仪MicroLine 300

    应用于半导体行业:

    半导体测试设备-光学类测试-其他

    产品品牌

    VIEW

    库       存:

    100

    产       地:

    中国-广东省

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:VIEW

    型号:

    所属系列:半导体测试设备-光学类测试-其他


    关键尺寸的自动化光学测量系统
     
     
     
    MicroLineTM 300影像测量仪是一款高性能测量晶圆、光罩、MEMS和其他微加工设备等关键尺寸的自动化测量系统。该系统配备了高质量光学显微镜和精密移动平台,可对200mm的晶圆上0.5µm到400µm的特征尺寸进行全自动的精密视场测量。
    n  200 x 200mm精密X-Y平台
    n  基于视觉的自动聚焦获得最佳影像质量
    n  自动照明可编程光强
    n  用于测量透明层、不规则边缘的线、厚膜等的强劲性能
    n  完全可编程的序列,包括自动聚焦和关键尺寸测量
    n  电动的6目物镜转换器,软件控制
    n  可选的透射照明
    技术规格:
    - 测量行程: 200 x 200 x 25mm (XYZ)
    - 平台运行: 交叉滚轴手动同轴定位和快速释放
    - 视场内的测量精度: 0.010µm (用100x物镜)
    - 特征尺寸: 视场内0.5µm - 400µm
    - FOV测量重复性: <0.010µm on wafers (用100x物镜)
    <0.005µm on photomasks (用100x物镜)
    - 照明: 石英卤素灯, 反射光
           自动照明
    - 低噪音CCD VGA格式摄像头
    - 图像处理60帧每秒
    MicroLine 300的典型应用包括:
    l  晶圆
    l  光罩
    l  MEMS
    l  微型组件
    测量类型:
    n  关键尺寸:
    线宽  Linewidth
    节距  Pitch
    间隙  Spacing
    n  Overlay
                 Multi-layer registration
    Box in box
    Circle
    Edge roughness
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