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    晶圆研磨抛光机

    产品品牌

    MCF

    库       存:

    1

    产       地:

    中国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    客服电话:4001027270

    半导体商城认证商家 展开

    品牌:MCF

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-减薄抛光设备-CMP磨抛机

    GNAD系列精密研磨抛光设备

    设备特点
        设备为全触摸屏控制
        设备具有盘温监控和盘温自动冷却功能
        设备具有定时冲洗废料托盘功能
           ●独立远程操控系统可实现强腐蚀化学抛光过程人机分离远程操控
        ●可在一个控制终端实现多机联控
        ●在线实时监控磨盘面形变化
        ●在线实时磨抛盘温控及冷却功能
        ●多通道进料系统
        ●摄像系统实时监控磨抛工艺过程
        ●磨抛盘自动冲洗功能

    设备参数
            电源: 240v、10A  / 110v、10A 
            晶圆尺寸: GNAD40   4”/100mm x 3
                              GNAD60   6”/150mm x 3
            工作盘直径: GNAD40  380mm
                                GNAD60  420mm
            电机转速: 0-120rpm
            盘转速: 0-100rpm 
            摆臂摆动频率: 0-30spm
            工作时间: 0-10 小时
            磨料输送:6个进给通道

    GNAD系列高精度研磨抛光设备是MCF公司研制的覆盖半导体材料,光电材料磨抛等多数应用领域的最新一代磨抛机。主要适用的材料包括:硅,砷化镓,铌酸锂,光纤,碳化硅,蓝宝石,碲锌镉等多种材料。GNAD系列磨抛设备包括GNAD61,GNAD420及GNAD620三个系列型号磨抛机。 

    设备描述

    1、GNAD系列精密研磨抛光机,主机及所有的零备件均采用高防腐蚀材料,整机防腐,适用于多种半导体材料的化学机械研磨抛光。GNAD系列设备可加工标准形状及不同非标准形状尺寸的样片。设备可加工最大样品尺寸为8英寸。

    2、GNAD系列设备的功能参数,可由独立的远程操控系统控制。控制系统可根据用户工艺要求选择独立于设备主机的距离,这个配置既提高了化学工艺过程中对操作人员健康安全的保护等级,也方便了工艺过程中更改工艺参数的操作,更是避免了磨抛过程中产生的磨抛液废料腐蚀操作控制系统。

    3、GNAD系列可实现一个终端多机联控。通过软件的升级设置,一台控制终端主机可以实现对多台设备的实时在线操控。大大提升了设备自动化功能的同时也极大提升了工艺标准化操作。

    4、GNAD系列具有实时在线监测工艺过程中磨抛盘面形的功能,并可实时在线修整磨抛盘的面型。盘面形控制精度1um。

    5、GNAD系列磨抛机具有实时在线监控磨抛盘温度变化和冷却功能。盘温接近预设温度警戒值,设备会自动启动冷却功能,保持磨抛盘在工艺要求的温度范围内运转工作。

    6、研磨抛光盘运行由驱动部分控制,盘的转速可从每分钟0转到每分钟120转,这个速度变化范围有效保证磨抛不同硬度和尺寸材料样品的速率,从而实现更高的工艺指标。研磨盘与抛光盘的更换简单快捷,嵌入式盘,使得设备能非常快速的从研磨工艺转到抛光工艺,大幅缩短工艺时间。

    7、GNAD设备主机配有真空系统和自动填料系统等相关组件。

     真空系统通过抽真空的方式将样品直接吸附在样品固定装置底面。根据不同工艺要求,真空系统可以直接吸附样品或者直接吸附贴有样品的玻璃基板。

     自动填料系统可根据不同的工艺要求,调整滴料速度,并在研磨料用完同时自动停机,以防止没有研磨料时对样品产生的损伤。

     设备可支持多通道进料系统同时工作,实现化学研磨抛光等各种复杂的工艺。 

    8、GNAD系列设备的摆臂配置样品水平转动驱动系统,大大提升了磨抛效率的同时,也更好的控制样品平整度。摆臂控制样品驱动系统的摆幅范围可以实现0-100%。这一功能设计,可以保证设备在研磨抛光过程中,实现样品的全摆动抛光,大大提升了设备的抛光产能及效率。

    9、夹具配有独立的数字显示表头,可在线监测样品的去除量,精度可实现1um,压力的范围可实现0-10公斤。并可根据用户工艺要求定制各种角度附件等非标夹具附件,实现对非标形状样品的抛光及角度抛光。

    10、GNAD系列设备具有设备定时功能,可连续运行10小时。同时,设备具有预设工作时间功能,达到预设时间,设备自动停机。

    11、GNAD系列设备具有自动清洗功能。根据工艺要求,GNAD可实时在线冲洗磨抛工作区域。流速,清洗时间等参数可精确数控。

    12、GNAD系列设备根据不同材料的工艺要求,可搭载铸铁盘,聚氨酯盘,玻璃盘,铜盘,锡盘及贴抛光布专用的抛光盘等多种材质的磨抛盘。

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