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    X61 D22B4M-T-1型双面研磨机

    产品品牌

    赫瑞特(兰州瑞德)

    规格型号:

    22B双面研磨机

    库       存:

    100

    产       地:

    中国-江苏省

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:赫瑞特(兰州瑞德)

    型号:22B双面研磨机

    所属系列:半导体加工设备-晶圆减薄抛光设备-研磨机

     新技术原理 新设计构思研制  模块化组合 易于实现自动化生产

     X61 D22B4M-T-1研磨技术规格书

    产品简介:本机我公司新一代研磨机,主要用于硅片、宝石、光学玻璃、陶瓷片、石英晶体及其他半导体材料的双面研磨,也用于其它硬脆材料的双面高精度研磨加工。

    主要特点

    2.1采用四电机同步拖动,变速范围更广,能适应不同抛光材料及抛光工艺的要求;可实现快速修盘功能,提高生产效率。

    2.2 加载压力更大,满足大压力加工工艺需求,最大压力可达2000kg。

    2.3太阳轮与内齿圈同步抬升,满足了取放工件及调整游轮啮合位置的要求。

    2.4上下研磨盘采用斜齿轮传动,并且整机采用全齿轮传动,运转平稳。

    2.5采用工控机控制,人机界面显示运转状态及参数设置,压力采用电-气比例阀与压力传感器闭环反馈控制,压力转换过程实现了线性控制。用户可根据研磨工艺进行设置,压力控制精度高,相应速度快。

    2.6变频器配合异步电机拖动,实现了软启动,软停止,调速稳定,冲击小。

    2.7应用人机界面(PT)与工控机通讯,一方面显示运行参数,另一方面通过其触摸键调整、设定各项工艺参数,主操作由面板键钮完成。

    2.8采用集中润滑装置,各相对运动表面、齿轮啮合部位、链轮都可得到充分润滑,大大提高了整机的使用寿命。

    2.9该设备的主要外购件采用进口件,保证了各项性能的高指标。

    2.10本机整体为底板龙门式结构,更高支撑刚度和稳定性。上研磨盘上升到最高位置后由横梁上锁定气缸通过安全钩自动锁定,安全可靠稳定。

    2.11 设备具有两级液压抬升机构。一级抬升用于齿圈太阳轮升降,行程约35mm;二级抬升用于设备检修,下盘主体整体抬升,最大行程280mm。

    2.12 游轮采用销齿传动,提高了啮合强度和接触刚度,同时降低了齿圈太阳轮的维护难度和维护成本;

    2.13上盘采用最新的“浮动”连接装置,调心灵活,解决了错盘问题。

    主要技术参数:

    研磨盘尺寸

    φ1465mm×φ492mm×60mm

    齿圈参数

    Z=264     PCD=φ1532.6     (销齿)

    太阳轮参数

    Z=74      PCD=φ424.2      (销齿)

    游星轮参数

    Z=95      PCD=φ550       (销齿)

    最小研磨厚度

    0.40mm

    加工能力

    85片/φ100mm, 35片/φ150mm

    下盘转速

    0-60rpm

    下盘电机

    22kW    AC380V       1470rpm

    上盘电机

    11kW    AC380V       1460rpm

    太阳轮电机

    4kW     AC380V       1440rpm

    齿圈电机

    7.5kW    AC380V      1440rpm

    三相电泵

    1/4HP     AC380V      70L/min

    外型尺寸

    2870㎜×1830㎜×2880㎜

    重量

    约8500kg

    产品选配表:

    上盘电机

    上盘平衡装置

    下盘电机

    龙门结构

    太阳轮电机

    全裸结构

    齿圈电机

    充氮

    上下盘水冷

    防结晶吹气

    水冷机

    机械手

    液压轴承

    测厚

         注:●标配  ○可选装

    使用环境:

        设备应安装在地面平坦,厚度应大于300mm,远离振动源,无灰尘烟雾污染的场所。

        a 温度10℃-25℃

        b 相对湿度≦95%

    c 电源电压AC380V ,50Hz

    d 压缩空气源 0.5-0.6Mpa(必须为干燥的清洁空气)

    基本配置:

    气动元件

    SMC、亚德客等

    主减速器

    椿本

    轴承

    国产

    工控机

    赫瑞特智控

    人机界面

    赫瑞特智控

    拉力传感器

    国产

    变频器

    施耐德

    低压电器

    213、魏德米勒等

    旋钮开关、电器开关

    213、和泉等

    电机

    国产

    整机精度指标

    下盘平面度小于0.04mm;

    下盘端面跳动小于0.08mm;

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