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    X61S36D-T型单面研磨机

    产品品牌

    赫瑞特(兰州瑞德)

    规格型号:

    36D单面研磨机

    库       存:

    100

    产       地:

    中国-江苏省

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:赫瑞特(兰州瑞德)

    型号:36D单面研磨机

    所属系列:半导体加工设备-晶圆减薄抛光设备-研磨机

     新技术原理   新设计构思研制   模块化组合   易于实现自动化生产

    X61S36D-T研磨 

    产品简介:本机是我公司新一代单面研磨机,主要用于φ50-φ150mm蓝宝石、电子材料半导体硅片、锗片、计算机磁盘基片以及光学材料等金属、非金属硬脆材料的单面研磨加工。

     

    主要特点:

    2.1主研盘和上研磨头均设有强制冷却(可选配冷水机),采用红外测温、闭环控温;四个研磨头采用变频调速主动转动,研磨头的压力用电气比例阀调控实现了多段压力控制,可大区段自动加压,最大加压可达450g/cm2

    2.2在控制上采用了工控机控制,灵敏性好,反馈迅速,能满足客户不同的工艺需求,控制精确,操作方便,显示丰富;

    2.3电气控制器件采用国外品牌(OMRON 、Raytek、和泉及施耐德等),可靠稳定;

    2.4主传动采用了椿本的环面包络蜗轮蜗杆减速箱,四个研磨头采用了台湾利明减速电机驱动,运转平稳寿命长;

    2.5主支座支撑处装有四个减震器,很好的保证了各种工况下上下盘间的平行度,保证了加工质量。

    2.6采用磁力搅拌泵搅拌、真空喷砂供液,配有冲洗开关水枪;

    2.7本机配备高精度数控车刀修盘装置,方便了铜盘面形修整,适应了蓝宝石加工的工艺要求;

     

     

     

    主要技术参数:

    研磨盘尺寸

    φ868×φ244mm×13mm

    抛头数量

    4个

    主电机

    15kW

    抛头电机

    0.75kw×4

    下研磨盘转速

    0-90rpm(调频调速)

    上研磨头转速

    0-90rpm(调频调速)

    加工能力

    80片/φ50mm,28片/φ100mm

    最小加工厚度

    0.2mm

    外型尺寸

    1360mm (W)×2412mm (D)×2799 mm (H)

    重量

    约4000kg

    产品选配表:

    抛头电机

     

    上下盘水冷

    下盘电机

     

    全裸结构

    水冷机

     

     

     

    机械手

     

     

     

    修盘车刀

     

     

     

     

     

     

     

    ●标配  ○可选装

     

     

     

     

    使用环境:

    1) 设备应安装在地面平坦,远离振动源,无灰尘烟雾污染的场所。

    2) 温度10℃-25℃

    3) 相对湿度≦95

    4) 电源电压AC 380V ,50Hz

    5) 压缩空气源 0.5-0.6Mpa(必须为干燥的清洁空气)

    6)冷却水水压:2kgf/cm2 以下

    水量:15L/min  温度:7~12℃

     

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