规格：靶材，颗粒
化学符号：TiO2沸 点：2500-3000℃
分 子 量：79.88
密 度：4.29g/cm3
熔 点：1650℃
外 观：白色、黑色
黑色TiO2导电率：70-80Ω/cm
10ˉ4真空下蒸发温度为：2200℃
蒸发方式：电子束反应蒸发TiO
透明波段/nm：350-12000
折射率（波长/nm）:2.2-2.4(550)
介电常数Σ：31-173
性 能：适于电子枪蒸发,膜层致密,牢固,抗化学腐蚀.灰色料比白色料易蒸发,但需充氧。也可用钨舟，钼舟加热蒸发，产生分解的吸收膜；不溶于水、稀酸、有机酸和稀碱溶液；但溶于热浓硫酸、氢 氟酸和强碱；
应 用：防反膜、冷光膜、分光膜、滤光片、高反膜，眼镜膜。TiO2薄膜具有高的介电常数，可用来制作混合集成电路用的薄膜电容器。一般用热氧化法、阳极氧化法和反应溅射法制备。