石英
密度：2.20±0.02g/cm^3
透过率：≥92%@193nm；≥98%@248nm
光学均匀性：±（2-10）×10^-6
应力双折射：2-5nm/cm
| 类型 | 尺寸 | 对角线 | 径厚比 | 光洁度 | PV@632.8nm | 平行差 | 表面粗糙度 |
| 方片 | 小 | 10-25mm | 10:1 | 5-1 | 0.05λ | 10″ | ≤0.2nm |
| 中 | 25-100mm | 10:1 | 10-5 | 0.05λ |
10″ | ≤0.2nm |
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| 大 | 100-295mm | 10:1 | 20-10 | 0.05λ/Φ100mm |
3″ | ≤0.2nm |
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| 类型 | 尺寸 | 直径 | 径厚比 | 光洁度 | PV@632.8nm | 平行差 | 表面粗糙度 |
| 圆片 | 小 | Φ10-Φ25mm |
10:1 | 5-1 | 0.05λ |
10″ | ≤0.2nm |
| 中 | Φ25-Φ100mm |
10:1 | 10-5 | 0.05λ |
10″ | ≤0.2nm |
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| 大 | Φ100-Φ295mm |
10:1 | 20-10 | 0.05λ/Φ100mm |
3″ | ≤0.2nm |