光刻胶
非光刻涂层
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品牌 Futurrex
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        1、特别涂层PC3

应用:平坦化层 – 转移平坦层到下面的介电质的刻蚀后加工过程机械保护层 – 划片和切割操作中临时粘合层。

性质是优异的平坦化性能,厚度范围是在0.5  20.0 um,对生产的作用是在一些应用中省去化学机械抛光平坦化处理、刻蚀后加工处理时抑制微负载的影响、划片时消除膜剥落和破裂的情况、在背部减薄和晶片分离后很容易在光胶去除剂RD3RD6中去除。

2、旋涂玻璃:SOG

应用:在多层金属加工中作为介电质一部分的平滑层和保护层,在三层光胶加工中的中间层。

性质:固化之后设备可应用的膜硬度、厚度范围是在0.15  0.55 um、对生产的作用是在一些应用中省去化学气相沉积(CVD)二氧化硅、在多层金属加工处理中省去费时的填充狭窄沟槽的SiO2沉积和凹蚀、在为薄膜磁性头制作的基板制备中省去抛光

 

旋涂玻璃

ICI-200

0.17μm  0.20μm

DC4-500

0.45μm  0.55μm

3、旋涂掺杂涂层

应用:在旋涂硼、旋涂磷、旋涂锌;其性质是透明薄膜通过O2 Plasma转化为固态掺杂。其对生产作用是省去掺杂的旋涂玻璃、在一些应用中省去离子植入、省去ampoule中锌掺杂。

旋涂掺杂涂层

涂层

类型

BDC1-2000

硼掺杂涂层

PDC1-2000

磷掺杂涂层

ZPDC2-2000

锌掺杂涂层

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