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溶剂溶液
Su-8显影液
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晞泽
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Su-8显影液 显影液 设备商城
详细介绍:+,-.胶是一种基于环氧+,-.树脂的环氧型的、 近紫外光、负光刻胶。其专门用于在非常厚的底层上需要高深宽比的应用。
SU-8胶的显影原理是在显影液中溶解掉未曝光部分的光刻胶。当基片放人显影液中,未曝光部分的光刻胶会被显影液溶解。而曝光过的光刻胶已交联形成网状聚合物,因此显影液对它基本没有溶解作用,形成与掩模版相反的微结构图形。
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