合金靶（合金，中间合金，金属间化合物）
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材料及符号 |
纯度 |
形状 |
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钛铝合金靶(TiAl) |
2N5,3N,4N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
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镍铬合金靶(NiCr) |
3N,3N5,4N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
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镍铬硅合金靶(NiCrSi) |
3N,3N5,4N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶
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镍铬铝合金靶(NiCrAl) |
3N,4N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶
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铜铝合金靶(CuAl) |
4N,5N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶
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铝铬合金靶(AlCr) |
3N5,4N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶
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铝硅合金靶(AlSi) |
4N,5N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
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铝硅铜合金靶材(AlSiCu) |
3N,4N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶
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铬硅合金靶材(CrSi) |
3N5,4N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
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铜铟合金靶(CuIn) |
4N,5N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
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铜镓合金靶(CuGa) |
3N5,4N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
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铜硒合金靶(CuSe) |
3N5,4N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
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铱锰合金靶(IrMn) |
99.5% |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
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铱铼合金靶(IrRe) |
99.9% |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
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铟锡合金靶(InSn) |
99.99% |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
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钼硅合金靶(MoSi) |
99.5% |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
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镍钒合金靶(NiV) |
99.9% |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
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钛铝合金靶(TiAl) |
99.9% |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
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钛镍合金靶(TiNi) |
99.9% |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
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钨铼合金靶(WRe) |
99.9% |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
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钨钛合金靶(Wti) |
99.9% |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
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锆铌合金靶(ZrNb) |
99.9% |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
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锆钛合金靶(ZrTi) |
99.9% |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
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锌铝合金靶(ZnAl) |
99.99% |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |