陶瓷靶材
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材料及符号 |
纯度 |
规格 |
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二氧化硅靶SiO2) |
3N5,4N,5N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
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氧化锌铝靶(AZO) |
3N5,4N |
平面靶,旋转靶 |
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三氧化二铝靶(Al2O3) |
4N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
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三氧化二铋靶(Bi2O3) |
3N,4N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
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三氧化二铬靶材(Cr2O3) |
3N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
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氧化铜靶材(CuO) |
4N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
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三氧化二铟靶材(In2O3) |
4N,5N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
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氧化铟锡靶(ITO) |
4N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
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氧化镁靶(MgO) |
4N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
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氧化钼靶(MoO) |
3N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
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三氧化二钼靶(Mo2O3) |
3N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
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氧化钕靶(Nd2O3) |
4N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
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一氧化硅靶材(SiO) |
3N,4N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
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一氧化钛靶(TiO) |
3N,4N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
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二氧化钛靶(TiO2) |
3N,4N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
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氧化钨靶(WO3) |
3N,4N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
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五氧化二钒靶(V2O5) |
3N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
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氧化锌靶(ZnO) |
3N,4N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |
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二氧化锆靶(ZrO2) |
4N |
平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶 |