- 详细介绍
| 平衡气纯度 | 平衡气纯度 | 平衡气纯度 | ||
|---|---|---|---|---|
| 气体名称 | 浓度 | N2 | H2 | He |
| 砷烷（Arsine) |
50ppm~15% |
6N | 6N | 6N |
| 乙硼烷（Diborane) |
50ppm~15% |
6N | 6N | 6N |
| 磷烷(Phosphine) |
50ppm~15% |
6N | 6N | 6N |
| 硅烷(Silane) |
50ppm~50% |
6N | 6N | 6N |