磷酸

化学式：

H3PO4

分子量：

97.99

执行标准：

GB/T 28159-2011

性状：

无色透明粘稠状液体，中等强度三元酸。

用途：

用于集成电路制造工艺中湿法蚀刻工序氮化硅和氮氧化硅膜的去除。

包装贮存：

200L电子级包装桶（330公斤/桶）。贮存于阴凉、干燥、通风的专用库房内。应与有毒、有害化学品分开存放。