大粒径硅溶胶
一．应用领域
1．抛光：用于制备CMP抛光液，用于硅单晶片、砷化镓片、蓝宝石晶片、半导体化合物晶片、硬盘盘片、宝石、液晶玻璃、镜头、金属表面等产品的抛光。
2．催化剂载体、数码印刷等。
二．性能指标
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指标名称 |
型号及标准 |
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LS30 |
LS50 |
LS80 |
LS100 |
LS120 |
LS150 |
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粒径（nm） |
30-40 |
50-60 |
80-90 |
100-110 |
110-120 |
140-160 |
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SiO2含量 |
30-50% |
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分散介质 |
水 |
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pH值 |
2-11（可定制） |
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分散状态 |
单分散 |
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胶粒形态 |
球形 |
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保质期（月） |
≥12 |
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三．用于抛光液的使用方法
建议用去离子水将浓度稀释至10-20%，也可根据实际工艺要求改变配比，若要调节pH值，可以用10%
HCl，3%NaOH，5%KOH或者10%氨水在充分搅拌下慢慢滴入。
四．包装及储存
1．采用聚乙烯塑料桶包装，主要包装规格有25Kg、250Kg、1000Kg。
2．避免曝晒，贮存温度为5-40℃，低于0℃则产生冻胶而报废。
3．避免敞口长期与空气接触。
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