CMP浆料专用硅溶胶主要用于微电子、光电子、金属等行业中硅材料表面、砷化镓、碳化硅、蓝宝石表面及各种金属的抛光工艺。纳米二氧化硅溶液是无定形二氧化硅在水中的分散体系,外观呈乳白色。我公司采用新生产线工艺,设备技术先进,检测手段齐备,原材料选用严格,质量可靠,性能稳定,品种齐全,处于国内领先水平,可替代进口同类产品。
主要特点:我公司产品分散度小,纯度高、稳定性好,可广泛应用于微电子行业及高新技术产品加工领域。目前大粒径硅溶胶生产方法分离子交换法与单质硅水解法。
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离子交换法大粒径硅溶胶
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LJ-8040产品的SEM图片
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LJ-12040产品的SEM图片
硅粉水解法大粒径硅溶胶
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GS-8040产品的SEM图片
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